Modellierung und Herstellung eines akustischen Wandlers auf Waferniveau unter Einsatz von Polymermembranen

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Bibliographic data

Copyright year: 2021
ISBN-Online: 978-3-95900-646-0
Publisher: TEWISS, Garbsen
Series: Berichte aus dem IMPT
Volume: 02/2021
Language: German
Pages: 119
Product type: Book Titles

ChapterPages

1. Vorwort No access
2. Kurzfassung No access
3. Abstract No access
4. Inhaltsverzeichnis No access
5. Abbildungsverzeichnis No access
6. Formelzeichen und Abkürzungen No access
1 Einleitung No access Pages 1 - 2
1. 2.1 Akustische Grundlagen No access
2. 2.2 Prinzipien und Varianten von Mikrofonen No access
3. 2.3 Membranen in der Akustik No access
4. 2.4 Charakterisierung von geringen Membranauslenkungen No access
5. 2.5 Mikrofone in der Prüfung und Überwachung von technischen Anlagen No access
3 Aufgabenstellung und Zielsetzung No access Pages 26 - 27
1. 4.1 Idee und Entwurf No access
2. 4.2 Fertigungstechnische Umsetzung No access
3. 4.3 Messtechnische Charakterisierung No access
1. 5.1 Beschichtungstechnik No access
2. 5.2 Fotolithografie No access
3. 5.3 Ätzen und Materialabtrag No access
4. 5.4 Chemisch- mechanische Materialbearbeitung No access
1. 6.1 Design No access
1. 7.1 Prozessentwicklung No access
2. 7.2 Fertigung der akustischen Wandler No access
1. 8.1 Ermittlung der Widerstandswerte der hergestellten Systeme No access
2. 8.2 Untersuchung der Schwingeigenschaften der Polyimidmembran No access
1. 9.1 Ergebnisse der Widerstandsmessungen No access
2. 9.2 Ergebnisse der statischen Kraftmessung No access
3. 9.3 Ergebnisse der akusto-mechanischen Charakterisierung No access
4. 9.4 Ergebnisse der elektrischen Charakterisierung No access
5. 9.5 Ergebnisse zum Schwingverhalten No access
6. 9.6 Ergebnisse zur Langzeitstabilität No access
1. 10.1 Schlussfolgerung No access
2. 10.2 Ausblick No access
11 Zusammenfassung No access Pages 99 - 101
12 Literaturverzeichnis No access Pages 102 - 106
13 Anhang No access Pages 107 - 119