Entwicklung eines lithographiefreien Fertigungsverfahrens für AMR-Magnetfeldsensoren basierend auf spritzgegossenen Kunststoffsubstraten

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Copyright year: 2022
ISBN-Online: 978-3-95900-705-4
Publisher: TEWISS, Garbsen
Series: Berichte aus dem IMPT
Volume: 01/2022
Language: German
Pages: 137
Product type: Book Titles

ChapterPages

1. Vorwort No access
2. Inhaltsverzeichnis No access
1 Einleitung No access Pages 1 - 1
1. 2.1 PVD-Beschichtung von Polyetheretherketon (PEEK) No access
2. 2.2 PVD-basierte Sensorsysteme auf Kunststoffsubstraten No access
3. 2.3 Laser-Direktstrukturierung No access
4. 2.4 AMR-Sensoren No access
5. 2.5 Kunststoffspritzguss in der Mikrosystemtechnik No access
6. 2.6 Werkzeugbau für Mikrosysteme No access
7. 2.7 Rheologie der Kunststoffe No access
8. 2.8 Schwindung, Verzug und Eigenspannungen beim Kunststoffspritzguss No access
1. 3.1 PVD-Verfahren No access
2. 3.2 Kathodenzerstäubung No access
3. 3.3 Galvanische Abscheidung No access
4. 3.4 Außenstromlose Abscheidung No access
5. 3.5 Ionenstrahlätzen (IBE) No access
6. 3.6 Plasmaätzen / Plasmaveraschen / Plasmaaktivierung No access
7. 3.7 Fotolithographie No access
8. 3.8 Aufbau von Kunststoffspritzgussanlagen No access
9. 3.9 Kunststoffspritzguss No access
10. 3.10 Spritzprägen No access
11. 3.11 Kunststoffe No access
12. 3.12 Thermoplaste No access
13. 3.13 Polyetheretherketon (PEEK) No access
14. 3.14 Polymere Kompositwerkstoffe und Füllstoffe No access
15. 3.15 Chemisch mechanisches Polieren (CMP) No access
1. 4.1 Magnetismus No access
2. 4.2 Ferromagnetische Werkstoffe No access
3. 4.3 Hysterese und magnetische Permeabilität No access
4. 4.4 Magnetisches Werkstoffverhalten No access
5. 4.5 Anisotroper magnetoresistiver Effekt (AMR-Effekt) No access
6. 4.6 Nickel-Eisen Legierungen No access
7. 4.7 Spannungszustände in dünnen Schichten No access
8. 4.8 Magnetoelastische Kopplung No access
9. 4.9 Einfluss der Oberflächenrauheit auf die magnetischen Eigenschaften No access
10. 4.10 Fazit aus dem Stand der Technik, den Fertigungstechnologien und Werkstoffen sowie den magnetischen Effekten No access
5 Aufgabenstellung No access Pages 44 - 45
1. 6.1 Darstellung des neuentwickelten Fertigungsansatzes No access
2. 6.2 Herstellung Formeinsatz für Spritzgussanlage No access
3. 6.3 Spritzguss-Strukturierung No access
4. 6.4 Spritzguss-Strukturierung in Kombination mit LDS-Verfahren No access
5. 6.5 LDS-Spritzgussstrukturierung und Kontaktierung No access
1. 7.1 Anlagen für die Fotolithographie No access
2. 7.2 Anlagen der Beschichtungstechnik No access
3. 7.3 Anlagen der Ätztechnik No access
4. 7.4 Kunststoffverarbeitung No access
5. 7.5 Mechanische Bearbeitung No access
6. 7.6 Elektrische Kontaktierung No access
7. 7.7 Messtechnik No access
1. 8.1 Modellierung No access
2. 8.2 Design und Sensoranordnung No access
3. 8.3 Maskendesign No access
4. 8.4 Entwurf des Gesamt-Prozessplans No access
1. 9.1 AMR-Sensoren auf SiO2 beschichteten Si-Wafern No access
2. 9.2 Formenbau No access
3. 9.3 Spritzgießen No access
4. 9.4 Spritzprägen No access
5. 9.5 Untersuchungen zu Kathodenzerstäubung auf PEEK-Substraten No access
6. 9.6 Freilegen der Strukturen No access
7. 9.7 Charakterisierung der freigelegten Sensorstrukturen No access
8. 9.8 Laser-Direktstrukturierung von PEEK No access
1. 10.1 Auswertung der spritzgegossenen AMR-Sensoren in einer Helmholtz-Spule No access
2. 10.2 Auswertung der spritzgeprägten AMR-Sensoren in der Helmholtz-Spule No access
3. 10.3 Untersuchungen mittels Raman-Spektroskopie No access
4. 10.4 Temperatureinfluss auf die PVD-Schichten beim Sputtern No access
5. 10.5 Annealing von Permalloy PVD-Schichten No access
6. 10.6 Temperaturwechseltests No access
7. 10.7 Kunststoffuntersuchung mittels REM und EDX No access
8. 10.8 Kontaktieren mittels Löten und Kleben No access
1. 11.1 Zusammenfassung und Diskussion Formenbau No access
2. 11.2 Zusammenfassung und Diskussion Spritzgießen und Spritzprägen No access
3. 11.3 Zusammenfassung und Diskussion PVD-Beschichtung auf PEEK-Substrat No access
4. 11.4 Zusammenfassung und Bewertung der Simulationsergebnisse No access
5. 11.5 Zusammenfassung und Diskussion Freilegen No access
6. 11.6 Bewertung, Funktionalität und Einflussfaktoren der AMR-Sensoren No access
7. 11.7 Zusammenfassung und Diskussion LDS No access
8. 11.8Wirtschaftliche Bewertung der Prozesskette No access
9. 11.9 Fazit No access
12 Ausblick No access Pages 115 - 117
13 Zusammenfassung No access Pages 118 - 118
14 Literaturverzeichnis No access Pages 119 - 123
1. 15.1 Trennschleifen No access
2. 15.2 Aufdampfen No access
3. 15.3 Tabelle der Standardpotenziale No access
4. 15.4 Ergänzungen zur Plasmabehandlung No access
5. 15.5 DoE zur Laserparameterermittlung No access
6. 15.6 Herstellungskostenrechnung No access
7. 15.7 Datenblätter No access
16 Lebenslauf No access Pages 136 - 137