Prozessentwicklung zur Fertigung von substratlosen Mikrosystemen am Beispiel eines Mikro-Transformators

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Copyright year: 2020
ISBN-Online: 978-3-95900-515-9
Publisher: TEWISS, Garbsen
Series: Berichte aus dem IMPT
Volume: 03/2020
Language: German
Pages: 141
Product type: Book Titles

ChapterPages

1. Inhaltsverzeichnis No access
2. Abkürzungsverzeichnis No access
1 Einleitung No access Pages 1 - 1
1. 2.1 Induktive Bauelemente No access
2. 2.2 Der Ferromagnetismus No access
3. 2.3 Mikrotechnologisch gefertigte Mikro-Induktivitäten No access
4. 2.4 Weichmagnetische Legierungen als Ringkern No access
3 Aufgabenstellung No access Pages 32 - 33
1. 4.1 Photolithographie No access
2. 4.2 Schleuderbelackung No access
3. 4.3 Kathodenzerstäubung No access
4. 4.4 Galvanotechnik No access
5. 4.5 Ionenstrahlätzen No access
6. 4.6 Anodische Auflösung von Aluminium No access
1. 5.1 Vorstellung des gewählten Systemdesigns No access
2. 5.2 Herausforderung und Optimierungspotential von miniaturisierten Mikro-Transformatoren No access
3. 5.3 Legierungssystem Ni45Fe55 No access
1. 6.1 Elektrolytentwicklung No access
2. 6.2 Prozessparameter der Legierungsabscheidung No access
3. 6.3 Untersuchungen zur elektrolytischen Abscheidung No access
1. 7.1 Herstellung der Prototypen No access
2. 7.2 Herstellung substratloser Mikrosysteme No access
3. 7.3 Aufbau der Charakterisierungsprototypen No access
1. 8.1 Elektrische Durchschlagsfestigkeit No access
2. 8.2 Hochfrequenzverhalten der Prototypen No access
1. 9.1 Elektrolytentwicklung von weichmagnetischen Legierungen No access
2. 9.2 Fertigung von substratlosen Mikrosystemen No access
3. 9.3 Technologiedemonstrator No access
10 Ausblick No access Pages 123 - 124
Abbildungverzeichnis No access Pages 125 - 132
Tabellenverzeichnis No access Pages 133 - 133
Quellenverzeichnis No access Pages 134 - 141