Prozessentwicklung zur Fertigung von substratlosen Mikrosystemen am Beispiel eines Mikro-Transformators

Zusammenfassung

In der vorliegenden Arbeit wird die Prozessentwicklung zur Fertigung von substratlosen Mikro-Transformatoren vorgestellt. Die Neuerung besteht darin Polyimid als Träger zu verwenden und somit den Bauraum der Mikro-Transformatoren zu reduzieren. Für die Fertigung wird ein flüssiger Polyimidpräkursor auf einen temporären Träger aufgebracht. Die weichmagnetischen Ringkerne werden elektrolytisch aus einer Nickel-Eisen-Legierungen hergestellt. Die Thermobehandlung der Legierung führt zu einer Reduktion der Koerzitivfeldstärke und eine Erhöhung der magnetischen Sättigungsfeldstärke. Die Ablösung des Mikrosystems wird mithilfe der anodischen Auflösung von Aluminium durchgeführt. Die Ablösung erfolgt in 0,5 molarer Natriumchloridlösung. Die gefertigten Mikrosysteme werden anhand der Impedanz und des frequenzabhängigen Induktivitätsverlaufs beurteilt.

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Bibliographische Angaben

Copyrightjahr: 2020
ISBN-Online: 978-3-95900-515-9
Verlag: TEWISS, Garbsen
Reihe: Berichte aus dem IMPT
Band: 03/2020
Sprache: Deutsch
Seiten: 141
Produkttyp: Monographie

Inhaltsverzeichnis

KapitelSeiten

1. Inhaltsverzeichnis Kein Zugriff
2. Abkürzungsverzeichnis Kein Zugriff
1 Einleitung Kein Zugriff
1. 2.1 Induktive Bauelemente Kein Zugriff
2. 2.2 Der Ferromagnetismus Kein Zugriff
3. 2.3 Mikrotechnologisch gefertigte Mikro-Induktivitäten Kein Zugriff
4. 2.4 Weichmagnetische Legierungen als Ringkern Kein Zugriff
3 Aufgabenstellung Kein Zugriff
1. 4.1 Photolithographie Kein Zugriff
2. 4.2 Schleuderbelackung Kein Zugriff
3. 4.3 Kathodenzerstäubung Kein Zugriff
4. 4.4 Galvanotechnik Kein Zugriff
5. 4.5 Ionenstrahlätzen Kein Zugriff
6. 4.6 Anodische Auflösung von Aluminium Kein Zugriff
1. 5.1 Vorstellung des gewählten Systemdesigns Kein Zugriff
2. 5.2 Herausforderung und Optimierungspotential von miniaturisierten Mikro-Transformatoren Kein Zugriff
3. 5.3 Legierungssystem Ni45Fe55 Kein Zugriff
1. 6.1 Elektrolytentwicklung Kein Zugriff
2. 6.2 Prozessparameter der Legierungsabscheidung Kein Zugriff
3. 6.3 Untersuchungen zur elektrolytischen Abscheidung Kein Zugriff
1. 7.1 Herstellung der Prototypen Kein Zugriff
2. 7.2 Herstellung substratloser Mikrosysteme Kein Zugriff
3. 7.3 Aufbau der Charakterisierungsprototypen Kein Zugriff
1. 8.1 Elektrische Durchschlagsfestigkeit Kein Zugriff
2. 8.2 Hochfrequenzverhalten der Prototypen Kein Zugriff
1. 9.1 Elektrolytentwicklung von weichmagnetischen Legierungen Kein Zugriff
2. 9.2 Fertigung von substratlosen Mikrosystemen Kein Zugriff
3. 9.3 Technologiedemonstrator Kein Zugriff
10 Ausblick Kein Zugriff
Abbildungverzeichnis Kein Zugriff
Tabellenverzeichnis Kein Zugriff
Quellenverzeichnis Kein Zugriff