Modellierung und Herstellung eines akustischen Wandlers auf Waferniveau unter Einsatz von Polymermembranen

Zusammenfassung

Die Fortschritte in der Entwicklung von medialen Endgeräten sind ein nicht zu übersehender Motor für die Entwicklung neuer Technologien und Methoden zur Herstellung von Aktoren und Sensoren. Hierzu zählen nicht nur unter anderem die Sensorik zur Festlegung der Position und Lage des Endgerätes, sondern auch akustische Wandler, welche sowohl digitale Signale in Schallwellen aber auch demgegenüber Schallwellen in ein elektrisches Signal umwandeln. Im Bereich der letztgenannten Wandlungsart gibt es bereits durchaus etablierte Produkte, die auf Grundlage des elektrostatischen Prinzips agieren. Hier sind vor allem die Systeme mit Elektret zu nennen, aber auch Systeme in Form eines kapazitiven Wandlers sind hier vertreten. Diese besitzen in den häufigsten Fällen eine schwingende Membran aus einer Siliziumverbindung. Eine Alternative hierzu kann eine Membran aus einem Polymer sein, welche andere Eigenschaften mitbringt und in der Verarbeitung weitere Bereiche öffnet, wie beispielsweise die Verwendung auf einer technischen Oberfläche.

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Bibliographische Angaben

Copyrightjahr: 2021
ISBN-Online: 978-3-95900-646-0
Verlag: TEWISS, Garbsen
Reihe: Berichte aus dem IMPT
Band: 02/2021
Sprache: Deutsch
Seiten: 119
Produkttyp: Monographie

Inhaltsverzeichnis

KapitelSeiten

1. Vorwort Kein Zugriff
2. Kurzfassung Kein Zugriff
3. Abstract Kein Zugriff
4. Inhaltsverzeichnis Kein Zugriff
5. Abbildungsverzeichnis Kein Zugriff
6. Formelzeichen und Abkürzungen Kein Zugriff
1 Einleitung Kein Zugriff Seiten 1 - 2
1. 2.1 Akustische Grundlagen Kein Zugriff
2. 2.2 Prinzipien und Varianten von Mikrofonen Kein Zugriff
3. 2.3 Membranen in der Akustik Kein Zugriff
4. 2.4 Charakterisierung von geringen Membranauslenkungen Kein Zugriff
5. 2.5 Mikrofone in der Prüfung und Überwachung von technischen Anlagen Kein Zugriff
3 Aufgabenstellung und Zielsetzung Kein Zugriff Seiten 26 - 27
1. 4.1 Idee und Entwurf Kein Zugriff
2. 4.2 Fertigungstechnische Umsetzung Kein Zugriff
3. 4.3 Messtechnische Charakterisierung Kein Zugriff
1. 5.1 Beschichtungstechnik Kein Zugriff
2. 5.2 Fotolithografie Kein Zugriff
3. 5.3 Ätzen und Materialabtrag Kein Zugriff
4. 5.4 Chemisch- mechanische Materialbearbeitung Kein Zugriff
1. 6.1 Design Kein Zugriff
1. 7.1 Prozessentwicklung Kein Zugriff
2. 7.2 Fertigung der akustischen Wandler Kein Zugriff
1. 8.1 Ermittlung der Widerstandswerte der hergestellten Systeme Kein Zugriff
2. 8.2 Untersuchung der Schwingeigenschaften der Polyimidmembran Kein Zugriff
1. 9.1 Ergebnisse der Widerstandsmessungen Kein Zugriff
2. 9.2 Ergebnisse der statischen Kraftmessung Kein Zugriff
3. 9.3 Ergebnisse der akusto-mechanischen Charakterisierung Kein Zugriff
4. 9.4 Ergebnisse der elektrischen Charakterisierung Kein Zugriff
5. 9.5 Ergebnisse zum Schwingverhalten Kein Zugriff
6. 9.6 Ergebnisse zur Langzeitstabilität Kein Zugriff
1. 10.1 Schlussfolgerung Kein Zugriff
2. 10.2 Ausblick Kein Zugriff
11 Zusammenfassung Kein Zugriff Seiten 99 - 101
12 Literaturverzeichnis Kein Zugriff Seiten 102 - 106
13 Anhang Kein Zugriff Seiten 107 - 119