Mikrofertigung und Mikromontage zur Herstellung eines individuellen piezoelektrisch betriebenen Mikrotropfenerzeugers

Markus Albert Kagerer

doi:10.51202/9783186393098

Keywords

Search publication

Bibliographic data

Copyright year: 2017
ISBN-Print: 978-3-18-339309-1
ISBN-Online: 978-3-18-639309-8
Publisher: VDI Verlag, Düsseldorf
Series: Elektronik/Mikro- und Nanotechnik
Volume: 393
Language: German
Pages: 134
Product type: Book Titles

Titelei/Inhaltsverzeichnis Partial access Pages I - X Download chapter (PDF)
1. Einführung – Mikrosystemtechnik No access
2. 1. Tropfendosierung mit Drop-on-Demand Techniken No access
  2. Unterteilung piezoelektrisch betriebener Mikrotropfenerzeuger No access
  3. Einsatz piezoelektrisch betriebener Mikrotropfenerzeuger No access
3. Problembeschreibung / Anwendung – Fertigung von Mikrosystemen No access
1. 1. Prozessablaufplan für die Mikrostrukturierung von Substraten No access
  2. Basisprozesse für die Mikrostrukturierung von Substraten No access
  3. Reinheit in der Mikrostrukturierung von Substraten No access
2. 1. Mikromontage im Vergleich zu standardisierten Montagetechniken No access
  2. Prozessablauf in der Mikromontage No access
  3. Gerätschaften für die Mikromontage No access
  4. Klebstoffauftragsverfahren in Mikromontageanlagen No access
3. Zusammenfassende Betrachtung des Stands der Technik No access
Kritik am Stand der Technik No access Pages 26 - 27
Aufgabenstellung No access Pages 28 - 28
Erwartete Vorteile No access Pages 29 - 29
Abgrenzung No access Pages 30 - 30
1. 1. Werkzeuge für die Strukturierung von Substraten No access
  2. Grundlagen der Laserstrahlmaterialbearbeitung No access
  3. Gaußsche Strahlenoptik No access
  4. Laserstrahlquellen unabhängige Parameter für die Materialbearbeitung No access
  5. Fertigung senkrechter Kanäle mithilfe des Trennschleifens No access
2. 1. Aufbau des Mikromontageplatzes No access
  2. Ausrichten und Absetzen von zwei Bauteilen No access
  3. Definierter Klebstoffauftrag auf planare Bauteile No access
  4. Lösungsprozess für die Fügung zweier Bauteile No access
3. Zusammenfassende Betrachtung des eigenen Ansatzes No access
Unterscheidungsmerkmale zum Stand der Technik No access Pages 56 - 56
1. 1. Laserstrahlmaterialbearbeitung mit Nanosekunden Laserstrahlquellen No access
  2. Fertigung senkrechter Kanäle mit einer Wafersäge No access
2. 1. Gestell des Mikromontageplatzes No access
  2. Montageplattform am Mikromontageplatz No access
  3. Greif- / Absetzwerkzeug am Mikromontageplatz No access
  4. Klebstoffauftragswerkzeug am Mikromontageplatz No access
  5. Gesamtaufbau des Mikromontageplatzes No access
  6. Anwendung des Mikromontageplatzes No access
3. Zusammenfassende Betrachtung der Realisierung No access
1. Experiment 1: Laserstrahlschneiden in Silizium No access
2. Experiment 2: Ebener Laserstrahlmaterialabtrag in Silizium No access
3. Experiment 3: Fertigung senkrechter Kanäle mithilfe des Trennschleifens No access
4. Experiment 4: Positionierung zweier Bauteile mit dem Mikromontageplatz No access
5. Experiment 5: Klebstoffauftrag mit dem Mikromontageplatz No access
1. 1. Aufbau des Mikrotropfenerzeugers No access
  2. Funktionsweise des Mikrotropfenerzeugers No access
2. 1. Prozessflow zur Herstellung der Mikrotropfenerzeuger No access
  2. Schritt 1: Mikrostrukturierung mittels Laserstrahlung No access
  3. Schritt 2: Mikrostrukturierung mittels Trennschleifen No access
  4. Schritt 3: Verbindung von Membran und Substrat No access
  5. Schritt 4: Mikromontage von piezoelektrischer Keramik und Membran No access
  6. Schritt 5: Strukturierung der Elektroden mittels Trennschleifen No access
  7. Schritt 6: Vereinzelung mittels Trennschleifen No access
  8. Bewertung und Gegenüberstellung des Prozesses No access
3. 1. Oberflächenmodifikation der Düsenplatte No access
  2. Montage der Druckchips auf eine Platine No access
  3. Aufnahmevorrichtung für platinenbasierte Druckchips No access
  4. Kontrolle von Düsenfunktionalität und Hub des bimorphen Aufbaus No access
4. Fluidmechanisches Dosierexperiment / -beispiel No access
Zusammenfassung und Ausblick No access Pages 119 - 121
Literaturverzeichnis No access Pages 122 - 134