Mikrofertigung und Mikromontage zur Herstellung eines individuellen piezoelektrisch betriebenen Mikrotropfenerzeugers

Markus Albert Kagerer

doi:10.51202/9783186393098

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Mikrofertigung und Mikromontage zur Herstellung eines individuellen piezoelektrisch betriebenen Mikrotropfenerzeugers

Autor:innen:
Reihe:: Elektronik/Mikro- und Nanotechnik, Band 393
Verlag:: 2017

Zusammenfassung

ln vorliegender Arbeit werden Methoden für die kostengünstige und schnelle Herstellung von Funktionsmodellen für die Mikrosystemtechnik entwickelt. Für die Mikrostrukturierung von Substraten werden sowohl für die Laserbearbeitung als auch für das Trennschleifen die notwendigen Fertigungsparameter abgeleitet. Die Montage von Funktionskomponenten wird über einen neu entwickelten Mikromontageplatz mit Klebstoffauftragswerkzeug realisiert. ln weniger als 10 Stunden können mit den vorgestellten Verfahren fünf Funktionsmodelle eines Mikrotropfenerzeugers hergestellt werden.

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Bibliographische Angaben

Copyrightjahr: 2017
ISBN-Print: 978-3-18-339309-1
ISBN-Online: 978-3-18-639309-8
Verlag: VDI Verlag, Düsseldorf
Reihe: Elektronik/Mikro- und Nanotechnik
Band: 393
Sprache: Deutsch
Seiten: 134
Produkttyp: Monographie

Inhaltsverzeichnis

KapitelSeiten

Titelei/Inhaltsverzeichnis Teilzugriff Seiten I - X Download Kapitel (PDF)
1. Einführung – Mikrosystemtechnik Kein Zugriff
2. 1. Tropfendosierung mit Drop-on-Demand Techniken Kein Zugriff
  2. Unterteilung piezoelektrisch betriebener Mikrotropfenerzeuger Kein Zugriff
  3. Einsatz piezoelektrisch betriebener Mikrotropfenerzeuger Kein Zugriff
3. Problembeschreibung / Anwendung – Fertigung von Mikrosystemen Kein Zugriff
1. 1. Prozessablaufplan für die Mikrostrukturierung von Substraten Kein Zugriff
  2. Basisprozesse für die Mikrostrukturierung von Substraten Kein Zugriff
  3. Reinheit in der Mikrostrukturierung von Substraten Kein Zugriff
2. 1. Mikromontage im Vergleich zu standardisierten Montagetechniken Kein Zugriff
  2. Prozessablauf in der Mikromontage Kein Zugriff
  3. Gerätschaften für die Mikromontage Kein Zugriff
  4. Klebstoffauftragsverfahren in Mikromontageanlagen Kein Zugriff
3. Zusammenfassende Betrachtung des Stands der Technik Kein Zugriff
Kritik am Stand der Technik Kein Zugriff Seiten 26 - 27
Aufgabenstellung Kein Zugriff Seiten 28 - 28
Erwartete Vorteile Kein Zugriff Seiten 29 - 29
Abgrenzung Kein Zugriff Seiten 30 - 30
1. 1. Werkzeuge für die Strukturierung von Substraten Kein Zugriff
  2. Grundlagen der Laserstrahlmaterialbearbeitung Kein Zugriff
  3. Gaußsche Strahlenoptik Kein Zugriff
  4. Laserstrahlquellen unabhängige Parameter für die Materialbearbeitung Kein Zugriff
  5. Fertigung senkrechter Kanäle mithilfe des Trennschleifens Kein Zugriff
2. 1. Aufbau des Mikromontageplatzes Kein Zugriff
  2. Ausrichten und Absetzen von zwei Bauteilen Kein Zugriff
  3. Definierter Klebstoffauftrag auf planare Bauteile Kein Zugriff
  4. Lösungsprozess für die Fügung zweier Bauteile Kein Zugriff
3. Zusammenfassende Betrachtung des eigenen Ansatzes Kein Zugriff
Unterscheidungsmerkmale zum Stand der Technik Kein Zugriff Seiten 56 - 56
1. 1. Laserstrahlmaterialbearbeitung mit Nanosekunden Laserstrahlquellen Kein Zugriff
  2. Fertigung senkrechter Kanäle mit einer Wafersäge Kein Zugriff
2. 1. Gestell des Mikromontageplatzes Kein Zugriff
  2. Montageplattform am Mikromontageplatz Kein Zugriff
  3. Greif- / Absetzwerkzeug am Mikromontageplatz Kein Zugriff
  4. Klebstoffauftragswerkzeug am Mikromontageplatz Kein Zugriff
  5. Gesamtaufbau des Mikromontageplatzes Kein Zugriff
  6. Anwendung des Mikromontageplatzes Kein Zugriff
3. Zusammenfassende Betrachtung der Realisierung Kein Zugriff
1. Experiment 1: Laserstrahlschneiden in Silizium Kein Zugriff
2. Experiment 2: Ebener Laserstrahlmaterialabtrag in Silizium Kein Zugriff
3. Experiment 3: Fertigung senkrechter Kanäle mithilfe des Trennschleifens Kein Zugriff
4. Experiment 4: Positionierung zweier Bauteile mit dem Mikromontageplatz Kein Zugriff
5. Experiment 5: Klebstoffauftrag mit dem Mikromontageplatz Kein Zugriff
1. 1. Aufbau des Mikrotropfenerzeugers Kein Zugriff
  2. Funktionsweise des Mikrotropfenerzeugers Kein Zugriff
2. 1. Prozessflow zur Herstellung der Mikrotropfenerzeuger Kein Zugriff
  2. Schritt 1: Mikrostrukturierung mittels Laserstrahlung Kein Zugriff
  3. Schritt 2: Mikrostrukturierung mittels Trennschleifen Kein Zugriff
  4. Schritt 3: Verbindung von Membran und Substrat Kein Zugriff
  5. Schritt 4: Mikromontage von piezoelektrischer Keramik und Membran Kein Zugriff
  6. Schritt 5: Strukturierung der Elektroden mittels Trennschleifen Kein Zugriff
  7. Schritt 6: Vereinzelung mittels Trennschleifen Kein Zugriff
  8. Bewertung und Gegenüberstellung des Prozesses Kein Zugriff
3. 1. Oberflächenmodifikation der Düsenplatte Kein Zugriff
  2. Montage der Druckchips auf eine Platine Kein Zugriff
  3. Aufnahmevorrichtung für platinenbasierte Druckchips Kein Zugriff
  4. Kontrolle von Düsenfunktionalität und Hub des bimorphen Aufbaus Kein Zugriff
4. Fluidmechanisches Dosierexperiment / -beispiel Kein Zugriff
Zusammenfassung und Ausblick Kein Zugriff Seiten 119 - 121
Literaturverzeichnis Kein Zugriff Seiten 122 - 134

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