Elektromigration und deren Berücksichtigung beim zukünftigen Layoutentwurf digitaler Schaltungen

Matthias Thiele

doi:10.51202/9783186395092

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Bibliographic data

Copyright year: 2017
ISBN-Print: 978-3-18-339509-5
ISBN-Online: 978-3-18-639509-2
Publisher: VDI Verlag, Düsseldorf
Series: Elektronik/Mikro- und Nanotechnik
Volume: 395
Language: German
Pages: 150
Product type: Book Titles

Titelei/Inhaltsverzeichnis Partial access Pages I - X Download chapter (PDF)
1. Entwicklung der Halbleitertechnologie No access
2. Entwicklung bei Leitbahnen No access
3. Motivation No access
1. 1. Allgemeines zur Elektromigration No access
  2. Möglichkeiten der Quantifizierung No access
  3. Einflussgrößen No access
2. 1. Kristallstruktur und Diffusionsmechanismen No access
  2. Barrieren bei Kupfermetallisierungen No access
  3. Einfluss durch mechanische Spannungen No access
  4. Zusammenspiel der Migrationsarten No access
  5. Frequenzabhängigkeit der EM No access
3. 1. Einordnung in den Layoutentwurf No access
  2. Besonderheiten des digitalen Layoutentwurfs No access
  3. Berücksichtigung von EM im digitalen Layoutentwurf No access
1. Hintergrund und Fragestellungen No access
2. Einordnung der Arbeit in den Gesamtkontext No access
1. Mooresches Gesetz und Roadmap ITRS No access
2. Verhinderung von EM-Schäden No access
1. Übersicht über die Methoden No access
2. 1. Physikalischer Hintergrund No access
  2. Anwendung No access
3. 1. Physikalischer Hintergrund No access
  2. Bedeutung für Technologie und Entwurf No access
4. 1. Grundlagen No access
  2. Parameter No access
  3. Vergleich mit aktuellen Technologien No access
  4. Anwendung No access
5. 1. Grundlagen No access
  2. Quellen und Senken No access
  3. Erscheinungsformen No access
  4. Anwendung No access
6. 1. Grundlagen No access
  2. Stromverteilung No access
  3. Reservoire No access
  4. Bedeutung der geometrischen Anordnung No access
  5. Aktuelle Bedeutung redundanter Vias No access
  6. Parameter und Hinweise zur Anwendung bei EM No access
7. 1. Selbstheilung und steigende Frequenzen No access
  2. Konsequenzen No access
8. 1. Leiterwerkstoff No access
  2. Dielektrikum No access
  3. Barriere No access
9. 1. Kohlenstoffbasierte Lösungen No access
  2. Eigenschaften der CNT No access
  3. Auswirkungen auf den zukünftigen Layoutentwurf No access
10. Zusammenfassung No access
1. 1. Stromdichtesimulation mit Finiten Elementen No access
  2. Besonderheiten herkömmlicher Technologien No access
  3. Simulation neuer Technologien No access
2. Versuchsmethoden der experimentellen Validierung No access
3. 1. Längeneffekte No access
  2. Reservoire No access
  3. Kohlenstoffnanoröhren No access
4. Zusammenfassung No access
1. Zusammenfassung der Arbeit No access
2. Ausblick: Bibliothek robuster Layoutelemente No access
3. Ausblick: Nutzung von neuen Technologien No access
4. Zukünftige Nutzung der Ergebnisse No access
Glossar No access Pages 132 - 133
Literaturverzeichnis No access Pages 134 - 150