Reinraumtechnik: Theorie, Praxis, Berechnungsbeispiele nach Eurocode 2

DIN e. V.

doi:10.5771/9783410319672

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Edition: 4/2024
Copyright Year: 2024
ISBN-Print: 978-3-410-31966-5
ISBN-Online: 978-3-410-31967-2
Publisher: DIN Media, Berlin
Series: Normen-Handbuch
Language: German
Pages: 780
Product Type: Edited Book

1. Vorwort No access
2. Inhaltsverzeichnis No access
3. Hinweise zur Nutzung von DIN-Taschenbüchern No access
4. DIN-Nummernverzeichnis No access
5. Verzeichnis abgedruckter Normen No access
6. Stichwortverzeichnis No access
7. Service-Angebote von DIN Media No access
1. Nationales Vorwort No access
2. 1. Inhalt No access
  2. Europäisches Vorwort No access
  3. 1 Anwendungsbereich No access
  4. 2 Normative Verweisungen No access
  5. 3 Begriffe No access
  6. 1. 4.1 Allgemeines No access
    2. 4.2 Erstellung eines betrieblichen Systems der mikrobiologischen Kontrolle No access
    3. 4.3 Qualitätsattribute des Systems zur Kontrolle der mikrobiologischen Kontamination No access
    4. 1. 4.4.1 Allgemeines No access
      2. 4.4.2.1 Allgemeines No access
        4.4.2.2 Hauptquellen No access
        4.4.2.3 Abgeleitete oder verbundene Quellen No access
      3. 4.4.3 Übertragungswege mikrobiologischer Kontamination No access
    5. 4.5 Risikobewertung No access
    6. 1. 4.6.1 Allgemeines No access
      2. 4.6.2 Überwachungsorte No access
      3. 4.6.3 Überwachungsfrequenzen No access
    7. 4.7 Erstellen von Warn- und Aktionsgrenzen No access
    8. 4.8 Erstellung des Dokumentationssystems No access
    9. 4.9 Ausbildung und Schulung des Personals No access
  7. 1. 5.1 Trendanalyse No access
    2. 1. 5.2.1 Allgemeines No access
      2. 5.2.2 Untersuchung von Ergebnissen außerhalb der Spezifikation (en: out of specification, OOS) No access
      3. 5.2.3 Aufzeichnungen No access
      4. 5.2.4 Verfolgung der Proben No access
      5. 5.2.5 Integrität der Ergebnisse No access
      6. 5.2.6 Aufzeichnung von Daten No access
      7. 5.2.7 Datenauswertung No access
      8. 5.2.8 Trendanalyse No access
  8. 1. 6.1 Allgemeines No access
    2. 6.2 Auswahl des Probenahmeverfahrens No access
    3. 6.3 Volumetrische Luftprobenahmegeräte No access
    4. 6.4 Kulturmedien und Inkubation No access
    5. 6.5 Inkubatoren No access
  9. 1. A.1 Einleitung No access
    2. A.2 Bewertung des Risikos/der Auswirkung No access
    3. A.3 Demonstration der Kontrolle No access
  10. 1. B.1 Einleitung No access
    2. 1. B.2.1 Allgemeines No access
      2. B.2.2.1 Allgemeines No access
        B.2.2.2 Risikobewertung No access
        B.2.2.3 Mikrobiologisches Kontrollverfahren No access
        B.2.2.4 Empfohlener mikrobiologischer Überwachungsplan No access
      3. B.2.3.1 Allgemeines No access
        B.2.3.2 Risikobewertung No access
        B.2.3.3 Mikrobiologisches Kontrollverfahren No access
        B.2.3.4 Empfohlener Überwachungsplan No access
      4. B.2.4.1 Allgemeines No access
        B.2.4.2 Risikobewertung No access
        B.2.4.3 Mikrobiologisches Kontrollverfahren No access
        B.2.4.4 Empfohlener umweltbezogener mikrobiologischer (EM) Überwachungsplan No access
    3. 1. B.3.1 Mikrobiologische Kontaminationsgrenzen No access
      2. B.3.2 Zusätzliche Erwägungen zur mikrobiologischen Kontrolle No access
    4. 1. B.4.1 Zählung als Teil der Messverfahren (Abschnitt 6) No access
      2. B.4.2 Methoden für die Probenahme No access
      3. B.4.3.1 Anzahl der Messstellen No access
        B.4.3.2 Häufigkeit der Probenahme für die aktive Luftprobenahme No access
        B.4.3.3 Überwachung des Personals No access
    5. B.5 Andere informative Anhänge für Anwendungen von Medizinprodukten No access
  11. 1. C.1 Einleitung No access
    2. C.2 Erstellung der Kontrolle in einer Gesundheitswesen-/Krankenhausanwendung No access
    3. C.3 Risikobewertung für Operationssaal- und Krankenhausanwendungen No access
  12. 1. D.1 Einleitung No access
    2. D.2 Erstellung der mikrobiologischen Kontrolle No access
    3. D.3 Mikrobiologische Reinheitsgrade für die Überwachung No access
    4. D.4 Demonstration der mikrobiologischen Kontrolle No access
    5. D.5 Beispiel für die Lebensmittelherstellung No access
  13. 1. E.1 Allgemeines No access
    2. 1. E.2.1.1 Allgemeines No access
        E.2.1.2.1 Allgemeines No access
        E.2.1.2.2 Kaskadensammler (Mehrfachsieb-Sammler) No access
        E.2.1.2.3 Agar-Sammler mit nur einem Sieb No access
        E.2.1.2.4 Schlitz-zu-Agar-Sammler No access
        E.2.1.2.5 Zentrifugalsammler No access
        E.2.1.3.1 Allgemeines No access
        E.2.1.3.2 Membranfilter No access
        E.2.1.3.3 Flüssigkeitsaufprall No access
        E.2.1.4 Fernluftsammlung No access
      2. E.2.2 Sedimentationsplatten No access
    3. 1. E.3.1 Allgemeines No access
      2. E.3.2 Kontaktplatten und -streifen No access
      3. E.3.3 Abstrichtupfer und Schwämme No access
    4. 1. E.4.1 Allgemeines No access
      2. E.4.2 Eignung von Medien (Sterilität und Fähigkeit zur Wachstumsförderung) No access
      3. E.4.3 Dehydrierung des Mediums No access
      4. E.4.4 Hemmung durch Desinfektionsmittel auf Medien No access
      5. E.4.5 Platteninkubation No access
    5. 1. E.5.1 Allgemeines No access
      2. E.5.2 Physikalische Sammlungseffizienz No access
      3. E.5.3 Biologische Sammlungseffizienz No access
    6. 1. E.6.1.1 Allgemeines No access
        E.6.1.2.1 Stämme für die Prüfung der physikalischen Sammlungseffizienz No access
        E.6.1.2.2 Stämme für die Prüfung der biologischen Sammlungseffizienz No access
        E.6.1.3 Erzeugung mikrobentragender Partikel No access
        E.6.1.4 Prüfung No access
      2. E.6.2.1 Allgemeines No access
        E.6.2.2 Prüfung No access
      3. E.6.3 Inkubation No access
      4. E.6.4 Berechnung der Sammlungseffizienz aus den Prüfergebnissen No access
      5. E.6.5 Erneute Validierung des Luftprobenahmegeräts No access
  14. 1. F.1 Allgemeines No access
    2. F.2 Implementierung von RMM und AMM No access
    3. 1. F.3.1 Allgemeines No access
      2. F.3.2 Erwägungen zu Abnahmekriterien No access
      3. F.3.3 Erwägungen zur Durchführung der Verifizierungsprüfung No access
    4. 1. F.4.1 Festlegung von Aktions- und Warngrenzen No access
      2. F.4.2 Ergebnis außerhalb der Aktions- und Warngrenzen No access
  15. Literaturhinweise No access
3. Nationaler Anhang NA(informativ)Literaturhinweise No access
1. Nationales Vorwort No access
2. 1. Inhalt No access
  2. Europäisches Vorwort No access
  3. Einleitung No access
  4. 1 Anwendungsbereich No access
  5. 2 Normative Verweisungen No access
  6. 1. 3.1 Allgemeines No access
    2. 3.2 Luftgetragene Partikel No access
    3. 3.3 Betriebszustände No access
    4. 3.4 Prüfung (siehe Anhang F) No access
    5. 3.5 Gerätespezifikationen No access
  7. 1. 4.1 Betriebszustand oder Betriebszustände No access
    2. 4.2 Partikelgröße(n) No access
    3. 4.3 Klassifizierungszahl No access
    4. 4.4 Kennzeichnung No access
    5. 4.5 Dezimale Zwischenklassen der Reinheit und der Schwellenwerte der Partikelgröße No access
  8. 1. 5.1 Grundlage No access
    2. 5.2 Prüfung No access
    3. 5.3 Bewertung der Partikelkonzentration der Luft No access
    4. 5.4 Prüfbericht No access
  9. 1. A.1 Kurzbeschreibung No access
    2. 1. A.2.1 Partikelzähler No access
      2. A.2.2 Kalibrierung des Messgerätes No access
    3. A.3 Vorbereitung der Partikelzählprüfung No access
    4. 1. A.4.1 Ableitung der Anzahl der Probenahmeorte No access
      2. A.4.2 Anordnung der Probenahmeorte No access
      3. A.4.3 Probenahmeorte für große Reinräume oder reine Bereiche No access
      4. A.4.4 Feststellung des Einzelprobenvolumens und der Probenahmezeit je Probenahmeort No access
    5. A.5 Probenahmeverfahren No access
    6. 1. A.6.1.1 Mittlere Partikelkonzentration an jedem Probenahmeort No access
        A.6.1.2 Berechnung der Konzentration je Kubikmeter No access
      2. A.6.2.1 Klassifizierungsanforderungen No access
        A.6.2.2 Ergebnis außerhalb der Spezifikation No access
  10. 1. B.1 Beispiel 1 No access
    2. B.2 Beispiel 2 No access
    3. B.3 Beispiel 3 No access
    4. B.4 Beispiel 4 No access
    5. B.5 Beispiel 5 No access
    6. B.6 Beispiel 6 No access
  11. 1. C.1 Kurzbeschreibung No access
    2. 1. C.2.1 Anwendung No access
      2. C.2.2 M-Deskriptor-Format No access
    3. 1. C.3.1 Kurzbeschreibung No access
      2. C.3.2 Allgemeines No access
      3. C.3.3 Erwägungen zur Probenhandhabung No access
      4. C.3.4.1 Messung vor Ort (in situ) No access
        C.3.4.2 Sammlung No access
    4. 1. C.4.1.1 Allgemeines No access
        C.4.1.2 Messung mit einem Streulicht-Einzelpartikelzähler (LSAPC) No access
        C.4.1.3 Partikeldepositionszeitmessung No access
      2. C.4.2.1 Allgemeines No access
        C.4.2.2 Sammlung auf Filtern und mikroskopische Messung No access
        C.4.2.3 Sammlung mittels Kaskadenimpaktor und Messung No access
    5. C.5 Verfahren zur Zählung von Makropartikeln No access
    6. C.6 Prüfberichte für die Probenahme von Makropartikeln No access
    7. C.7 Adaption des Makropartikel-Deskriptors, um die Berücksichtigung der ≥ 5-µm-Partikelgröße für Reinräume nach ISO-Klasse 5 zu erfassen No access
  12. 1. 1. D.1.1 Hintergrund No access
      2. D.1.2 Einschränkungen No access
    2. D.2 Verfahrensgrundlage No access
    3. D.3 Probenahmeverfahren No access
    4. 1. D.4.1 Beispiel 1 No access
      2. D.4.2 Beispiel 2 No access
  13. 1. E.1 Dezimale Zwischenklassen der Reinheit No access
    2. E.2 Zwischengrößen von Partikeln No access
  14. 1. F.1 Einleitung No access
    2. F.2 Gerätespezifikationen No access
  15. Literaturhinweise No access
1. Nationales Vorwort No access
2. 1. Inhalt No access
  2. Europäisches Vorwort No access
  3. Einleitung No access
  4. 1 Anwendungsbereich No access
  5. 2 Normative Verweisungen No access
  6. 3 Begriffe No access
  7. 1. 4.1 Kurzbeschreibung No access
    2. 4.2 Risikobewertung No access
    3. 4.3 Überwachungsplan No access
    4. 4.4 Kalibrierung No access
    5. 4.5 Bewertung und Freigabe No access
    6. 4.6 Reaktion auf eine Abweichung während der Überwachung No access
  8. 5 Regelmäßige Klassifizierung der Luftreinheit anhand der Partikelkonzentration No access
  9. 1. 1. A.1.1 Auswahl eines geeigneten Instrumentes zur Risikobewertung No access
      2. A.1.2 Festlegung der geforderten Leistung und der Betriebsbedingungen, die gegebenenfalls zu überwachen sind No access
    2. A.2 Allgemeine Überlegungen No access
    3. A.3 Überwachung des Differenzdrucks No access
    4. A.4 Überwachungssystem der luftgetragenen Partikel No access
    5. A.5 Überwachung der Luftgeschwindigkeit und des Luftvolumens No access
  10. 1. B.1 Allgemeine Grundlage zur Festlegung der Warn- und Aktionsgrenzen No access
    2. 1. B.2.1.1 Die Auswirkungen des Betriebs der Schleusentüren No access
        B.2.1.2 Die Auswirkungen der Prozessausrüstung No access
      2. B.2.2 Einstellen der Warn- und Aktionsgrenzen No access
      3. B.2.3 Messgeräteausrüstung für den Differenzdruck No access
    3. 1. B.3.1 Allgemeine Leitlinien No access
      2. B.3.2 Einführung des normalen Betriebsbereichs für die Partikelanzahlen No access
      3. B.3.3 Einstellung der Warn- und Aktionsgrenzen für die Partikelanzahlen No access
      4. B.3.4 Mögliche alternative Strategien für Warngrenzen für Partikelanzahlen No access
  11. Literaturhinweise No access
1. Nationales Vorwort No access
2. 1. Inhalt No access
  2. Europäisches Vorwort No access
  3. Vorwort No access
  4. Einleitung No access
  5. 1 Anwendungsbereich No access
  6. 2 Normative Verweisungen No access
  7. 1. 3.1 Allgemeine Begriffe No access
    2. 3.2 Begriffe in Bezug auf luftgetragene Partikel No access
    3. 3.3 Begriffe in Bezug auf Luftfilter und Luftfiltersysteme No access
    4. 3.4 Begriffe in Bezug auf Luftströmung und andere physikalische Zustandsgrößen No access
    5. 3.5 Begriffe in Bezug auf elektrostatische Messung No access
    6. 3.6 Begriffe in Bezug auf Messgeräte und Messbedingungen No access
    7. 3.7 Begriffe in Bezug auf Betriebszustände No access
  8. 1. 1. 4.1.1 Allgemeines No access
      2. 4.1.2 Hilfsprüfungen No access
    2. 1. 4.2.1 Prüfung des Differentialdrucks der Luft No access
      2. 4.2.2 Strömungsprüfung No access
      3. 4.2.3 Prüfung der Luftströmungsrichtung und Sichtbarmachung der Strömung No access
      4. 4.2.4 Prüfung der Erholzeit No access
      5. 4.2.5 Temperaturprüfung No access
      6. 4.2.6 Prüfung der Luftfeuchte No access
      7. 4.2.7 Leckprüfungen am eingebauten Filtersystem No access
      8. 4.2.8 Leckprüfung der Abschließung No access
      9. 4.2.9 Elektrostatische Prüfung und Überprüfung von Ionengeneratoren No access
      10. 4.2.10 Prüfung der Partikelsedimentation No access
      11. 4.2.11 Entmischungsprüfung No access
  9. 5 Prüfberichte No access
  10. 1. A.1 Allgemeines No access
    2. A.2 Checkliste für die Prüfung No access
    3. A.3 Planung von Prüfungen und Nachprüfungen No access
  11. 1. 1. B.1.1 Allgemeines No access
      2. B.1.2 Verfahren für die Prüfung des Differentialdrucks No access
      3. B.1.3 Geräte für die Prüfung des Differentialdrucks No access
      4. B.1.4 Prüfberichte No access
    2. 1. B.2.1 Allgemeines No access
      2. B.2.2.1 Allgemeines No access
        B.2.2.2 Geschwindigkeit des Zuluftvolumenstroms No access
        B.2.2.3 Gleichförmigkeit der Geschwindigkeit innerhalb des Reinraums oder reinen Bereichs No access
        B.2.2.4 Zuluftvolumenstrom, berechnet aus der Geschwindigkeitsmessung No access
        B.2.2.5 Berechnung des Zuluftvolumenstrom aus der Geschwindigkeitsmessung in Luftleitungen No access
      3. B.2.3.1 Allgemeines No access
        B.2.3.2 Zuluftvolumenstrom, gemessen mittels einer Messhaube No access
        B.2.3.3 Berechnung des Zuluftvolumenstroms aus der Geschwindigkeit No access
        B.2.3.4 Zuluftvolumenstrom, berechnet mittels Geschwindigkeitsmessung in Luftleitungen No access
      4. B.2.4 Geräte für Strömungsprüfungen No access
      5. B.2.5 Prüfberichte No access
    3. 1. B.3.1 Allgemeines No access
      2. B.3.2 Verfahren No access
      3. B.3.3.1 Tracerfadenverfahren No access
        B.3.3.2 Tracerinjektionsverfahren No access
        B.3.3.3 Strömungssichtbarmachung durch Bildverarbeitungstechniken No access
        B.3.3.4 Bewertung der Luftströmungsverteilung durch Messung von Geschwindigkeitsverteilungen No access
      4. B.3.4 Für die Prüfung der Luftströmungsrichtung und Sichtbarmachung der Strömung verwendete Geräte No access
      5. B.3.5 Prüfberichte No access
    4. 1. B.4.1 Allgemeines No access
      2. B.4.2 Aufreinigungsleistung No access
      3. B.4.3.1 Auswahl von Messpunkten No access
        B.4.3.2 Prüfverfahren No access
        B.4.3.3 Bewertung mittels der 10 : 1- oder 100 : 1Erholzeit No access
        B.4.3.4 Bewertung mittels der Reinheitserholungsrate No access
      4. B.4.4 Geräte für die Prüfung der Erholzeit No access
      5. B.4.5 Prüfberichte No access
    5. 1. B.5.1 Allgemeines No access
      2. B.5.2 Messgeräte für die Temperaturprüfung No access
    6. 1. B.6.1 Allgemeines No access
      2. B.6.2 Geräte für die Feuchteprüfung No access
    7. 1. B.7.1.1 Verfahren No access
        B.7.1.2 Verfahren unter Verwendung eines Aerosolphotometers No access
        B.7.1.3 Verfahren bei Verwendung eines Streulicht-Einzelpartikelzählers (LSAPC) No access
      2. B.7.2.1 Allgemeines No access
        B.7.2.2 Festlegung der Sondengröße No access
        B.7.2.3 Bestimmung der Abtastgeschwindigkeit No access
        B.7.2.4 Abnahmekriterien No access
        B.7.2.5 Auswahl des rohluftseitig aufzugebenden Aerosols No access
        B.7.2.6 Konzentration der Aerosolbeaufschlagung rohluftseitig und deren Nachprüfung No access
        B.7.2.7 Verfahren für die Leckprüfung an eingebauten Filtersystemen mittels kontinuierlicher Abtastung No access
      3. B.7.3.1 Allgemeines No access
        B.7.3.2 Festlegung der Sondengröße No access
        B.7.3.3 Bestimmung der Abtastgeschwindigkeit No access
        B.7.3.4 Für Zählungen zu berücksichtigende Partikelgröße und Abnahmekriterien No access
        B.7.3.5 Erwartete Anzahl der gezählten Partikel No access
        B.7.3.6 Auswahl des rohluftseitig aufzugebenden Aerosols No access
        B.7.3.7 Konzentration der Aerosolbeaufschlagung rohluftseitig und deren Nachprüfung No access
        B.7.3.8 Verfahren für die Abtastprüfung auf Lecks am eingebauten Filtersystem, Abtastprüfung Stufe 1 No access
        B.7.3.9 Verfahren für die Nachmessung mit ruhender Sonde No access
        B.7.3.10 Beispiel einer Anwendung mit Auswertung No access
      4. B.7.4 Verfahren für die Gesamtprüfung von Lecks der in Luftleitungen oder luftführenden Geräten eingebauten Filter No access
      5. B.7.5 Messgeräte und Materialien für die Leckprüfung des eingebauten Filtersystems No access
      6. B.7.6 Reparaturen und Reparaturverfahren No access
      7. B.7.7 Prüfberichte No access
    8. 1. B.8.1 Allgemeines No access
      2. B.8.2.1 Verfahren bei Verwendung eines Streulicht-Einzelpartikelzählers (LSAPC) No access
        B.8.2.2 Verfahren bei Verwendung eines Aerosolphotometers No access
      3. B.8.3 Geräte für die Leckprüfung der Abschließung No access
      4. B.8.4 Prüfberichte No access
    9. 1. B.9.1 Allgemeines No access
      2. B.9.2.1 Verfahren für die elektrostatische Prüfung No access
        B.9.2.2 Verfahren für die Prüfung des Ionengenerators No access
      3. B.9.3 Messgeräte für die elektrostatische Prüfung und die Prüfung des Ionengenerators No access
      4. B.9.4 Prüfberichte No access
    10. 1. B.10.1 Allgemeines No access
      2. B.10.2.1 Sammeln von Partikeln auf Vergleichsplatten No access
        B.10.2.2 Zählung und Größenbestimmung der gesammelten Partikel No access
      3. B.10.3 Geräte für die Prüfung der Partikelsedimentation No access
      4. B.10.4 Bestimmung von Probenahmezeit und Oberfläche No access
      5. B.10.5 Prüfberichte No access
    11. 1. B.11.1 Allgemeines No access
      2. B.11.2.1 Erzeugung einer Referenzkonzentration No access
        B.11.2.2 Einrichtungsgeometrie No access
        B.11.2.3 Messverfahren No access
        B.11.2.4 Berechnung des Schutzindex No access
      3. B.11.3 Prüfberichte No access
  12. 1. C.1 Allgemeines No access
    2. 1. C.2.1 Allgemeines No access
    3. 1. C.3.1.1 Allgemeines No access
      2. C.3.2.1 Allgemeines No access
    4. C.4 Prüfung der Luftströmungsrichtung und Sichtbarmachung der Strömung No access
    5. C.5 Prüfung der Erholzeit No access
    6. C.6 Temperaturprüfung No access
    7. C.7 Prüfung der Luftfeuchte No access
    8. C.8 Leckprüfung am eingebauten Filtersystem No access
    9. C.9 Leckprüfung der Abschließung No access
    10. C.10 Elektrostatische Prüfung und Überprüfung von Ionengeneratoren No access
    11. C.11 Prüfung der Partikelsedimentation No access
    12. C.12 Entmischungsprüfung No access
  13. Literaturhinweise No access
3. Nationaler Anhang NA (informativ) Literaturhinweise No access
1. Nationales Vorwort No access
2. Nationaler Anhang NA (informativ) Literaturhinweise No access
3. Inhalt No access
4. Europäisches Vorwort No access
5. Vorwort No access
6. Einleitung No access
7. 1 Anwendungsbereich No access
8. 2 Normative Verweisungen No access
9. 3 Begriffe No access
10. 4 Abkürzungen No access
11. 5 Allgemeines No access
12. 1. 6.1 Reinraumanforderungen No access
  2. 6.2 Sonstige Anforderungen No access
  3. 6.3 Dokumentation No access
13. 1. 7.1 Allgemeines No access
  2. 7.2 Entwurfsplanung No access
  3. 7.3 Grundlegende Planung No access
  4. 7.4 Ausführungsplanung No access
  5. 7.5 Änderungsmanagement No access
14. 1. 8.1 Allgemeines No access
  2. 1. 8.2.1 Allgemeines No access
    2. 8.2.2 Terminplan No access
    3. 8.2.3 Qualitätsplan No access
    4. 8.2.4 Reinraumprotokoll No access
  3. 8.3 Ausführungsverifizierung No access
  4. 8.4 Dokumentation No access
15. 1. 9.1 Allgemeines No access
  2. 1. 9.2.1 Allgemeines No access
    2. 9.2.2 Ingangsetzung No access
    3. 9.2.3 Funktions- und Leistungsverifizierungen No access
  3. 9.3 Schulung No access
  4. 9.4 Übergabe No access
  5. 1. 9.5.1 Dokumentation der Inbetriebnahme No access
    2. 9.5.2 Anweisungen zur Leistungsüberwachung No access
    3. 9.5.3 Instandhaltungsanweisungen No access
    4. 9.5.4 Instandhaltungsaufzeichnungen No access
    5. 9.5.5 Schulungsaufzeichnungen No access
16. 1. A.1 Allgemeines No access
  2. A.2 Kontaminationsmechanismen No access
  3. A.3 Überwachung von Reinheitsmerkmalen No access
  4. A.4 Prüflisten hinsichtlich der Anforderungen No access
17. 1. B.1 Allgemeines No access
  2. 1. B.2.1 Bereichseinteilung No access
    2. B.2.2 Abgrenzung No access
    3. B.2.3 Luftströmungskonzepte No access
  3. 1. B.3.1 Allgemeines No access
    2. B.3.2 Quellstärken No access
    3. B.3.3 Lüftungseffektivitätsindex No access
    4. B.3.4 Weitere Überlegungen für die Berechnung der Zuluftrate No access
    5. B.3.5 Partikelentfernungsrate No access
  4. B.4 Anwendung von CFD No access
  5. 1. B.5.1 Allgemeines No access
    2. B.5.2 Minderung elektrostatische Auf- und Entladung No access
    3. B.5.3 Überlegungen zu bestimmten Bauteilen No access
  6. 1. B.6.1 Allgemeines No access
    2. B.6.2 Luftschleusen No access
    3. B.6.3 Umkleideräume No access
    4. B.6.4 Anordnung des Arbeitsplatzes No access
    5. B.6.5 Unterstützende Nebenbereiche und angrenzende Reinräume No access
    6. B.6.6 Medienversorgung und Hilfsgeräte No access
  7. B.7 Prüfliste hinsichtlich der Planung No access
18. 1. 1. C.1.1 Allgemeines No access
    2. C.1.2 Materialhandhabung während der Ausführung No access
    3. C.1.3 Ausführung von Decken, Wänden und Böden No access
  2. 1. C.2.1 Reinheit und Reinigung während der Ausführung No access
    2. C.2.2 Umsetzung des Reinraumprotokolls No access
  3. C.3 Ausführungspersonal No access
  4. C.4 Ausführungsverifizierung No access
  5. C.5 Prüflisten hinsichtlich der Ausführung No access
19. 1. D.1 Allgemeines No access
  2. D.2 Vor-Inbetriebnahme No access
  3. 1. D.3.1 Allgemeines No access
    2. D.3.2 Ingangsetzung No access
    3. D.3.3 Verifizierung No access
  4. D.4 Dokumentation der Erst-Inbetriebnahme No access
  5. D.5 Prüflisten hinsichtlich der Erst-Inbetriebnahme No access
20. Literaturhinweise No access
DIN EN ISO 14644-5:2005-03 No access Pages 283 - 334
DIN EN ISO 14644-7:2005-01 No access Pages 335 - 394
1. Nationales Vorwort No access
2. Nationaler Anhang NA (informativ) Literaturhinweise No access
3. Inhalt No access
4. Europäisches Vorwort No access
5. Vorwort No access
6. Einleitung No access
7. 1 Anwendungsbereich No access
8. 2 Normative Verweisungen No access
9. 1. 3.1 Allgemeines No access
  2. 3.2 Kontaminantenfamilien No access
10. 1. 4.1 Allgemeines No access
  2. 4.2 Format des ISO-ACC-Deskriptors No access
11. 1. 5.1 Kurzbeschreibung No access
  2. 5.2 Prüfung No access
  3. 5.3 Prüfbericht No access
12. 1. A.1 Kurzbeschreibung No access
  2. A.2 Schritte zur Bestimmung von Parametern No access
  3. A.3 Außenluft No access
  4. A.4 Baumaterialien No access
  5. A.5 Querkontamination No access
  6. A.6 Betrieb und Wartung No access
  7. A.7 Personal No access
  8. A.8 Weitere Quellen No access
  9. A.9 Luftbehandlungsverfahren zur Reduzierung chemischer Luftverunreinigung No access
13. Anhang B (informativ) Typische Kontaminanten No access
14. 1. C.1 Kurzbeschreibung No access
  2. C.2 Verfahrenskonzepte No access
  3. 1. C.3.1 Übliche Probenahmeverfahren No access
    2. C.3.2 Typische Analyseverfahren No access
15. 1. D.1 Kurzbeschreibung No access
  2. D.2 Spezielle Überlegungen No access
16. Literaturhinweise No access
1. Nationales Vorwort No access
2. Nationaler Anhang NA (informativ) Literaturhinweise No access
3. Inhalt No access
4. Europäisches Vorwort No access
5. Vorwort No access
6. Einleitung No access
7. 1 Anwendungsbereich No access
8. 2 Normative Verweisungen No access
9. 3 Begriffe No access
10. 4 Abkürzungen No access
11. 1. 5.1 Format der ISO-SCP- Bewertungsstufe No access
  2. 5.2 Bezeichnung No access
  3. 5.3 Allgemeine Angaben zu den partikulären Oberflächenreinheitsstufen No access
12. 1. 6.1 Kurzbeschreibung No access
  2. 6.2 Prüfung No access
  3. 6.3 Prüfbericht No access
13. 1. A.1 Beschreibung der Oberfläche No access
  2. 1. A.2.1 Rauheit No access
    2. A.2.2 Porosität No access
    3. A.2.3 Härte No access
    4. A.2.4 Statische Elektrizität No access
    5. A.2.5 Oberflächenspannung No access
14. 1. B.1 Anwendung No access
  2. B.2 Oberflächendeskriptor für festgelegte Partikelgrößenbereiche No access
15. 1. C.1 Hintergrund No access
  2. 1. C.2.1 Physikalische oder chemische Eigenschaften No access
    2. C.2.2 Form der Oberfläche und Partikel No access
    3. C.2.3 Fähigkeit zur Messung oder Analyse und angemessene statistische Hilfsmittel für die Analyse der Partikel No access
    4. C.2.4 Herkunft der Partikel No access
16. 1. D.1 Partikuläre Oberflächenreinheit No access
  2. 1. D.2.1 Allgemeines No access
    2. D.2.2 Anforderungen an das Messverfahren No access
    3. D.2.3 Messverfahren No access
    4. D.2.4 Bestimmung der Anzahl der Proben No access
    5. D.2.5 Verpackung der Prüfproben No access
    6. D.2.6 Messtechniken No access
    7. D.2.7 Weitere Messsysteme No access
  3. D.3 Dokumentation der partikulären Oberflächenreinheit No access
17. Literaturhinweise No access
1. Nationales Vorwort No access
2. Nationaler Anhang NA (informativ) Literaturhinweise No access
3. Inhalt No access
4. Europäisches Vorwort No access
5. Vorwort No access
6. 1 Anwendungsbereich No access
7. 2 Normative Verweisungen No access
8. 3 Begriffe No access
9. 1. 4.1 Kurzbeschreibung zur Prüfung von chemischen Oberflächenkontaminationen bei reinen Oberflächen in Reinräumen und Reinraumbereichen No access
  2. 4.2 Format des ISO-SCC-Deskriptors No access
  3. 4.3 ISO-SCC-Bewertungsstufe No access
  4. 4.4 Konverter für Stoffe in atomare Oberflächenkonzentration No access
10. 1. 5.1 Kriterien für eine gute Bewertung der Reinheit No access
  2. 1. 5.2.1 Kurzbeschreibung No access
    2. 5.2.2 Prüfung No access
    3. 5.2.3 Prüfbericht No access
11. 1. A.1 Kurzbeschreibung No access
  2. A.2 Beispiele No access
12. 1. B.1 Parameter No access
  2. B.2 Überlegungen No access
13. 1. C.1 Kurzbeschreibung No access
  2. C.2 Überlegungen No access
14. 1. 1. D.1.1 Kurzbeschreibung No access
    2. D.1.2 Messmatrix No access
    3. D.1.3 Allgemeines Anwendungsgebiet der grundsätzlichen Messverfahren No access
  2. 1. D.2.1 Allgemeines No access
    2. D.2.2 Anforderungen des Prüfverfahrens No access
    3. D.2.3 Direkte oder indirekte Messverfahren No access
    4. D.2.4 Verpackung der Prüfproben No access
    5. D.2.5 Verfahren zur Vorbehandlung No access
    6. D.2.6 Vergleichende Prüfverfahren No access
    7. D.2.7 Direkte Messungen No access
    8. D.2.8 Indirekte Messverfahren (Vorbehandlung und Messung) No access
    9. D.2.9 Probenahme, Analyse und damit verbundene Elemente der Qualitätskontrolle No access
    10. D.2.10 Qualitätskontrolle der Analyse No access
15. Anhang E (informativ) Prüfprotokoll No access
16. Literaturhinweise No access
1. Nationales Vorwort No access
2. 1. Inhalt No access
  2. Europäisches Vorwort No access
  3. Vorwort No access
  4. Einleitung No access
  5. 1 Anwendungsbereich No access
  6. 2 Normative Verweisungen No access
  7. 3 Begriffe No access
  8. 1. 4.1 Überblick No access
    2. 4.2 Methodik No access
  9. 5 Objektbeschreibung No access
  10. 6 Reinheitsspezifikationen No access
  11. 1. 7.1 Allgemeines No access
    2. 7.2 Bestimmung des anfänglichen Kontaminationsgrades in Bezug auf die Partikelkonzentration No access
    3. 7.3 Bestimmung des anfänglichen Kontaminationsgrades in Bezug auf die chemische Konzentration No access
  12. 8 Andere Anforderungen No access
  13. 1. 9.1 Auswahlverfahren No access
    2. 1. 9.2.1 Reinigungsverfahren No access
      2. 9.2.2 Kategorien von Reinigungstechniken No access
    3. 9.3 Reinigungsprozess No access
  14. 10 Überprüfung der Werkstoffkompatibilität No access
  15. 1. 11.1 Allgemeines No access
    2. 1. 11.2.1 Bewertung No access
      2. 11.2.2 Wirkungsgrad der Reinigung in Bezug auf die Partikelkonzentration No access
      3. 11.2.3 Wirkungsgrad der Reinigung in Bezug auf die chemischen Kontamination No access
    3. 1. 11.3.1 Bewertung No access
      2. 11.3.2 Eignung der Reinigung in Bezug auf die Partikelkonzentration No access
      3. 11.3.3 Eignung der Reinigung in Bezug auf die chemischen Konzentration No access
  16. 1. 12.1 Allgemeines No access
    2. 1. 12.2.1 Allgemeines No access
      2. 12.2.2 Direkte Messverfahren in Bezug auf SCP No access
      3. 12.2.3 Direkte Messverfahren in Bezug auf die SCC No access
    3. 1. 12.3.1 Allgemeines No access
      2. 12.3.2 Indirekte Messverfahren in Bezug auf die SCP No access
      3. 12.3.3 Indirekte Messverfahren in Bezug auf die SCC No access
  17. 13 Dokumentation No access
  18. Anhang A (informativ) Aspekte der Reinigung No access
  19. 1. B.1 Allgemeines No access
    2. 1. B.2.1 Wischen No access
      2. B.2.2 Bürsten/Fegen No access
      3. B.2.3 Abkratzen/Abschaben No access
      4. B.2.4 Schleifen No access
    3. 1. B.3.1 Waschen/Spülen/Trocknen No access
      2. B.3.2 Reinigung durch Druckgas No access
      3. B.3.3 Unterdruckreinigung No access
      4. B.3.4.1 Ultraschallreinigung No access
        B.3.4.2 Megaschallreinigung No access
      5. B.3.5 Sprühreinigung No access
    4. 1. B.4.1 Allgemeines No access
      2. B.4.2.1 Druckluftbestrahlung No access
        B.4.2.2 Nass-Druckluftbestrahlung No access
        B.4.2.3 CO2-Pelletreinigung No access
        B.4.2.4 Beschleunigte CO2-Schneereinigung No access
      3. B.4.3.1 Bestrahlung durch Flüssigkeiten unter Druck No access
        B.4.3.2 Niederdruck-Wasserbestrahlung No access
        B.4.3.3 Schlämmbestrahlung No access
        B.4.3.4 Dampfbestrahlung No access
    5. 1. B.5.1 Allgemeines No access
      2. B.5.2 Ätzen No access
      3. B.5.3 Chemische Reaktion No access
      4. B.5.4 Dampfreinigung No access
      5. B.5.5 Plasmareinigung No access
      6. B.5.6 Ozonreinigung No access
    6. B.6 Arbeitsbereiche der beschriebenen Reinigungstechniken No access
  20. Anhang C (informativ) Werkstoffkompatibilität mit Reinigungsmitteln No access
  21. 1. D.1 Allgemeines No access
    2. D.2 Sichtprüfung No access
    3. D.3 Direkte Messung der Oberflächenreinheit No access
    4. 1. D.4.1 Allgemeines No access
      2. D.4.2 Extraktionstechniken No access
      3. D.4.3 Extraktion aus dem Objekt No access
      4. D.4.4 Extraktion aus dem Wischtuch No access
    5. 1. D.5.1 Allgemeines No access
      2. D.5.2.1 Sichtprüfung No access
        D.5.2.2 Lichtmikroskopie No access
        D.5.2.3 Schräglicht-, Streiflicht- und Seitenlicht-Messsysteme No access
        D.5.2.4 Rasterelektronenmikroskopie (SEM) No access
        D.5.2.5 Optische Partikelzählung No access
        D.5.2.6 Partikelzählung mit Lichtextinktion No access
        D.5.2.7 Streulicht-Oberflächenscanner No access
        D.5.2.8 Analyse durch Rasterkraftmikroskopie (AFM) No access
        D.5.2.9 Gravimetrie No access
      3. D.5.3.1 Allgemeines No access
        D.5.3.2.1 Sekundärionenmassenspektrometrie (SIMS) No access
        D.5.3.2.2 Totalreflexions-Röntgenfluoreszenzspektroskopie (TXRF) No access
        D.5.3.2.3 Fourier-Transformations-Infrarotspektrometer (FTIR) No access
        D.5.3.3 Mikrogravimetrie No access
        D.5.3.4.1 Allgemeines No access
        D.5.3.4.2 Lösemittellösungs–Gaschromatographie/Massenspektrometrie (SD-GC/MS) No access
        D.5.3.4.3 Thermodesorptions-Gaschromatographie-Massenspektrometrie TD-GC/MS No access
        D.5.3.4.4 Lösemittellösungs–Hochleistungsflüssigkeitschromatographie (SD-HPLC) No access
  22. Literaturhinweise No access
3. Nationaler Anhang NA (informativ) Literaturhinweise No access
1. Nationales Vorwort No access
2. 1. Inhalt No access
  2. Europäisches Vorwort No access
  3. Vorwort No access
  4. Einleitung No access
  5. 1 Anwendungsbereich No access
  6. 2 Normative Verweisungen No access
  7. 3 Begriffe und Definitionen No access
  8. 4 Allgemeine Gliederung der Bewertung No access
  9. 5 Sichtprüfung No access
  10. 1. 6.1 Allgemeines No access
    2. 1. 6.2.1 Überblick No access
      2. 6.2.2 Anforderungen und Betrachtungen No access
      3. 6.2.3 Repräsentative Betriebsart No access
      4. 6.2.4 Bewertung der Prüfumgebung No access
      5. 6.2.5 Bestimmung der Prüfumgebung No access
      6. 6.2.6 Annähernde Identifizierung von Orten mit HPC No access
      7. 6.2.7 Genaue Bestimmung von Orten mit HPC No access
      8. 6.2.8 Tauglichkeitsmessung(en) No access
      9. 6.2.9.1 Allgemeines No access
        6.2.9.2 Verfahren a) No access
        6.2.9.3 Verfahren b) No access
      10. 6.2.10 Bezugnahme auf das Klassifizierungssystem nach ISO 14644-1 No access
  11. 1. 7.1 Allgemeines No access
    2. 7.2 Übliche Dokumentationsanforderungen No access
    3. 7.3 Dokumentation für die Sichtprüfung No access
    4. 7.4 Dokumentation für die Bewertung der Prüfumgebung No access
    5. 7.5 Dokumentation für die Klassifizierungsmessung No access
  12. 8 Stellungnahme zur Reinraumtauglichkeit No access
  13. 1. A.1 Allgemeines No access
    2. A.2 Messwerte bei einer einzigen HPC No access
    3. A.3 Ergebnis No access
  14. 1. B.1 Allgemeines No access
    2. B.2 Bewertung in verschiedenen Phasen der Betriebslebensdauer des Geräts No access
    3. B.3 Messverfahren der Partikelsedimentation No access
    4. 1. B.4.1 Allgemeines No access
      2. B.4.2 Einrichtung der Prüfumgebung No access
      3. B.4.3 Prüfaufbau zur Messung der Gesamtemission No access
      4. B.4.4 Messung der Gesamtemission des Geräts No access
      5. B.4.5 Berechnung der mittleren Gesamtemissionsrate des Geräts No access
      6. B.4.6 Bewertung der Auswirkung der Gesamtpartikellast No access
  15. Literaturhinweise No access
3. Nationaler Anhang NA (informativ) Literaturhinweise No access
1. Nationales Vorwort No access
2. 1. Inhalt No access
  2. Europäisches Vorwort No access
  3. Vorwort No access
  4. Einleitung No access
  5. 1 Anwendungsbereich No access
  6. 2 Normative Verweisungen No access
  7. 3 Begriffe No access
  8. 4 Symbole No access
  9. 1. 5.1 Allgemeines No access
    2. 5.2 Geschlossene Ausführung No access
    3. 5.3 Geschlossene Ausführung besondere Anwendung No access
    4. 5.4 Offene Ausführung No access
  10. 1. 6.1 Ausrüstungsgegenstand No access
    2. 6.2 Material No access
  11. 1. 7.1 Allgemeines No access
    2. 7.2 Ausrüstungsgegenstände No access
    3. 7.3 Material No access
  12. 8 Beschreibung der Prüfung No access
  13. 9 Berechnung der gemessenen Konzentrationen No access
  14. 1. 10.1 Berechnung der spezifischen Emissionsrate — geschlossene Ausführung No access
    2. 10.2 Berechnung der spezifischen Emissionsrate — Offene Ausführung No access
  15. 1. 11.1 Allgemeines No access
    2. 11.2 Benötigte Eingabedaten No access
    3. 11.3 Berechnung zur Bestimmung der Wirkung auf einen Reinraum oder kontrollierten Bereich No access
    4. 11.4 Beurteilung der Eignung von Material(ien) oder Ausrüstungsgegenstand(gegenständen) für einen bestehenden Reinraum oder kontrollierten Bereich No access
  16. 1. 12.1 Allgemeines No access
    2. 12.2 Allgemeine Dokumentationsanforderungen No access
    3. 12.3 Dokumentation der Prüfung No access
    4. 1. 12.4.1 Ausrüstungssgegenstände No access
      2. 12.4.2 Materialien No access
  17. Anhang A (informativ) Beispielrechnung für die Bewertung der Eignung eines Ausrüstungssgegenstandes (vorhandene Einrichtung) No access
  18. Anhang B (informativ) Beispielrechnung für die Bewertung der Eignung des Wandmaterials (bestehende Einrichtung eines Reinraums/reinen Bereichs) No access
  19. Anhang C (informativ) Bewertung der Eignung einer Kombination aus Ausrüstungsgegenstand und Bodenmaterial in einem einzurichtenden Reinraum No access
  20. Literaturhinweise No access
3. Nationaler Anhang NA (informativ) Literaturhinweise No access
1. Nationales Vorwort No access
2. 1. Inhalt No access
  2. Europäisches Vorwort No access
  3. Vorwort No access
  4. Einleitung No access
  5. 1 Anwendungsbereich No access
  6. 2 Normative Verweisungen No access
  7. 1. 3.1 Allgemeine Begriffe No access
    2. 3.2 Begriffe in Verbindung mit Anlagen No access
    3. 3.3 Energieeffizienzbezogene Begriffe No access
    4. 3.5 Abkürzungen No access
  8. 1. 4.1 Allgemeines No access
    2. 4.2 Neue oder bestehende Reinräume No access
    3. 1. 4.3.1 Allgemeines No access
      2. 4.3.2 Vergleich der Energieleistung No access
      3. 4.3.3 Bestimmen des Business Case No access
      4. 4.3.4 Überwachung und Überprüfung No access
    4. 4.4 Nachrüstung oder Renovierung eines bestehenden Reinraums No access
    5. 1. 4.5.1 Auswahl des Projektteams No access
      2. 4.5.2 Prüfen der Benutzeranforderungen und des Projektanwendungsbereichs No access
      3. 4.5.3 Sammeln von Informationen zu Reinraumleistungskriterien No access
    6. 1. 4.6.1 Prüfen der Benutzeranforderungen und des Projektanwendungsbereichs No access
      2. 4.6.2 Durchführen einer Energieleistungsdesignprüfung No access
    7. 4.7 Vergleichende Prüfung der umweltbezogenen Qualität No access
    8. 4.8 Ermitteln von Energiereduzierungsmöglichkeiten No access
    9. 4.9 Beurteilen der Auswirkung von Energiereduzierungsmöglichkeiten No access
    10. 4.10 Auswahl der Energiereduzierungsmöglichkeiten zur Implementierung No access
    11. 4.11 Implementierung No access
    12. 4.12 Überwachen, Prüfen und Rückmeldung No access
    13. 4.13 Außerbetriebnahme No access
  9. 1. 5.1 Kurzbeschreibung No access
    2. 5.2 Kleidungsgrade No access
  10. 1. 6.1 Frischluftversorgung No access
    2. 6.2 Luftvolumenstrom No access
    3. 1. 6.3.1 Bestimmung des Luftvolumenstroms No access
      2. 6.3.2 Wirkungsgradindex der Entfernung von Verunreinigung und der Lüftung No access
      3. 6.3.3 Kompensationsfaktoren (Cf) No access
    4. 1. 6.4.1 Allgemeines No access
      2. 6.4.2 Konstruktionsphase No access
      3. 6.4.3 Prüfphase No access
      4. 6.4.4 Betriebsphase No access
    5. 6.5 Reduzierung der Luftgeschwindigkeit für Räume mit turbulenzarmer Verdrängungsströmung No access
  11. 1. 7.1 Herunterregeln No access
    2. 7.2 Abschalten No access
  12. 8 Adaptive Steuerung No access
  13. 9 Heiz und Kühllasten No access
  14. 1. 10.1 Luftumwälzventilatoren No access
    2. 10.2 Auswahl von Luftfiltern No access
  15. 11 Beleuchtungsstärken No access
  16. 12 Einweisung No access
  17. 13 Betrieb No access
  18. 14 Wartung No access
  19. 15 Außerbetriebnahme No access
  20. 1. A.1 Berechnung der Zuluftrate in Reinräumen mit turbulenter Verdünnungsströmung No access
    2. 1. A.2.1 Lüftungseffektivitätsindizes No access
      2. A.2.2 Luftwechseleffektivität (ACE) No access
      3. A.2.3 Wirkungsgrad der Fremdkörperbeseitigung (CRE) No access
    3. 1. A.3.1 Allgemeines No access
      2. A.3.2 Partikelemissionsrate von Personal in einem Reinraum No access
      3. A.3.3 Emissionsrate von durch Maschinen generierten Partikeln No access
    4. A.4 Beispiel für eine einfache Berechnung der Zuluftrate in einem Raum mit turbulenter Verdrängungsströmung No access
    5. A.5 Berechnung des Luftstroms in Reinräumen mit turbulenzarmer Verdrängungsströmung No access
  21. Anhang B (informativ)Energiesparmöglichkeiten No access
  22. Anhang C (Informativ)Wirkungsbeurteilung No access
  23. 1. D.1 Messgröße — Allgemeines No access
    2. D.2 Anwendungsbereich der Messgrößen No access
    3. D.3 Messgrößen und Ausgangswerte für Leistungsindikatoren No access
    4. D.4 Leistungsintensität für die Beseitigung von Verunreinigungen (PICR) No access
    5. D.5 Ventilatorenergieintensität für die Beseitigung von Verunreinigungen (EICR) No access
    6. D.6 Energieintensität (EI) No access
  24. 1. E.1 Heizbetrieb No access
    2. E.2 Kühlung No access
  25. Anhang F (informativ)Beispiel für die Reduzierung eines kritischen Bereichs No access
  26. Literaturhinweise No access
3. Nationaler Anhang NA(informativ)Literaturhinweise No access
1. Nationales Vorwort No access
2. 1. Inhalt No access
  2. Europäisches Vorwort No access
  3. Vorwort No access
  4. Einleitung No access
  5. 1 Anwendungsbereich No access
  6. 2 Normative Verweisungen No access
  7. 3 Begriffe No access
  8. 4 Symbole No access
  9. 1. 5.1 Allgemeines No access
    2. 5.2 Ermittlung der erforderlichen Partikelablagerungsrate für die Kontrolle der Partikelablagerung auf empfindlichen Oberflächen No access
    3. 5.3 Partikelablagerungsrate zum Nachweis der Kontrolle der partikulären Kontamination No access
  10. 6 Messung der Partikelablagerungsrate No access
  11. 7 Grad der Partikelablagerungsrate No access
  12. 8 Dokumentation No access
  13. 1. A.1 Allgemeines No access
    2. A.2 Partikelgröße No access
    3. 1. A.3.1 Effizienz der Messung No access
      2. A.3.2 Messgeräte und Vergleichsplatten für die Messung der Partikelablagerung No access
      3. A.3.3 Erforderliche Messdauer für die Partikelablagerungsrate No access
  14. 1. B.1 Beispiel für Messungen der Partikelablagerungsrate an einer kritischen Stelle No access
    2. B.2 Beispiele für die Überwachung der Partikelablagerungsrate an einer kritischen Stelle No access
  15. 1. C.1 Allgemeines No access
    2. C.2 Messung der partikulären Trübung No access
  16. Anhang D (informativ)Beziehung zwischen der Partikelablagerungsrate und der Konzentration luftgetragener Partikel No access
  17. 1. E.1 Allgemeines No access
    2. E.2 Beispiel für die Berechnung des Risikos durch Partikelablagerung auf einer empfindlichen Oberfläche No access
    3. E.3 Beispiel für die Berechnung der erforderlichen Partikelablagerungsrate für den Erhalt eines annehmbaren Grads der Partikelkontamination auf Oberflächen No access
    4. 1. E.4.1 Verringerung des Risikos oberflächlicher Kontamination durch Verbesserung der Reinraum-Verfahren No access
      2. E.4.2 Beispiel für die Konstruktion und Aufrüstung der Lüftung, um einen korrekten Grad der Partikelablagerungsrate zu erhalten No access
      3. E.4.3 Überwachung der Partikelablagerungsrate No access
  18. Literaturhinweise No access
3. Nationaler Anhang NA (informativ)Literaturhinweise No access
1. Nationales Vorwort No access
2. Nationaler Anhang NA (informativ) Literaturhinweise No access
3. Inhalt No access
4. Europäisches Vorwort No access
5. Vorwort No access
6. Einleitung No access
7. 1 Anwendungsbereich No access
8. 2 Normative Verweisungen No access
9. 3 Begriffe No access
10. 1. 4.1 Arten von Verbrauchsgegenständen No access
  2. 1. 4.2.1 Allgemeines No access
    2. 4.2.2 Funktionale Leistungseigenschaften No access
    3. 4.2.3 Reinheitsattribute No access
    4. 4.2.4 Besondere Eigenschaften No access
  3. 4.3 Bestimmungsgemäße Verwendung No access
  4. 1. 4.4.1 Einmalige Verwendung No access
    2. 4.4.2 Mehrmalige Verwendung No access
11. 1. 5.1 Allgemeines No access
  2. 5.2 Emission von Kontaminanten in die Luft No access
  3. 5.3 Oberflächenkontamination durch Kontaktübertragung No access
  4. 5.4 Oberflächenkontamination durch Flüssigkeiten No access
12. 1. 6.1 Allgemeines No access
  2. 6.2 Überlegungen No access
  3. 6.3 Verbundene Risiken No access
  4. 6.4 Anforderungen, Eigenschaften und Reinheitsattribute No access
  5. 6.5 Nachhaltigkeit No access
13. 1. 7.1 Allgemeines No access
  2. 7.2 Beschreibung und bestimmungsgemäße Verwendung No access
  3. 1. 7.3.1 Funktionale Leistungseigenschaften No access
    2. 7.3.2 Reinheitsattribute No access
    3. 7.3.3 Besondere Eigenschaften No access
14. 1. 8.1 Allgemeines No access
  2. 8.2 Beschreibung und vorgesehene Verwendung No access
  3. 1. 8.3.1 Funktionale Leistungseigenschaften No access
    2. 8.3.2 Reinheitsattribute No access
    3. 8.3.3 Besondere Eigenschaften No access
  4. 8.4 Qualitätsdokumentation des Lieferanten No access
15. 1. 9.1 Allgemeines No access
  2. 9.2 Erster Vergleich No access
  3. 9.3 Ausführlicher Vergleich No access
  4. 9.4 Bewertung der Reinraumtauglichkeit No access
  5. 9.5 Implementierung No access
16. 1. 10.1 Allgemeines No access
  2. 10.2 Ausgangsdokumentation des Kunden No access
  3. 10.3 Dokumentation des Lieferanten No access
  4. 10.4 Dokumentation der Bewertung No access
17. 1. A.1 Allgemeines No access
  2. 1. A.2.1 Bekleidung No access
    2. A.2.2 Handschuhe No access
    3. A.2.3 Gesichtsmaske No access
    4. A.2.4 Bedeckungen No access
    5. A.2.5 Schutzbrillen No access
  3. 1. A.3.1 Wischtücher No access
    2. A.3.2 Tupfer No access
    3. A.3.3 Mopp No access
    4. A.3.4 Andere No access
18. 1. B.1 Allgemeines No access
  2. 1. B.2.1 Luftreinheit anhand der chemischen Konzentration (ACC) No access
    2. B.2.2 Luftreinheit anhand der Partikelkonzentration (ACP) No access
  3. B.3 Persönliche Verbrauchsgegenstände No access
  4. B.4 Nicht persönliche Verbrauchsgegenstände No access
  5. B.5 Oberflächenreinheit No access
19. 1. C.1 Allgemeines No access
  2. 1. C.2.1 Bekleidung No access
    2. C.2.2 Handschuhe No access
    3. C.2.3 Gesichtsmaske No access
    4. C.2.4 Kopfbedeckungen No access
    5. C.2.5 Schutzbrillen No access
    6. C.2.6 Schuhe No access
    7. C.2.7 Schuhbedeckungen No access
  3. 1. C.3.1 Wischtücher No access
    2. C.3.2 Tupfer No access
    3. C.3.3 Mopp No access
    4. C.3.4 Verpackungsmaterialien No access
    5. C.3.5 Papier No access
    6. C.3.6 Andere No access
20. 1. 1. D.1.1 Allgemeines No access
    2. D.1.2 Zusammenfassung der Anforderungen No access
    3. D.1.3 Bewertung der Reinraumtauglichkeit No access
    4. D.1.4 Dokumentation No access
  2. 1. D.2.1 Allgemeines No access
    2. D.2.2 Zusammenfassung der Anforderungen No access
    3. D.2.3 Bewertung der Reinraumtauglichkeit No access
    4. D.2.4 Dokumentation No access
21. Literaturhinweise No access