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Sammelband Kein Zugriff

Reinraumtechnik

Theorie, Praxis, Berechnungsbeispiele nach Eurocode 2
Herausgeber:innen:
Verlag:
 2024

Zusammenfassung

Ob in der Fertigung von Halbleitern, in der Medizin, in der Luft- und Raumfahrttechnik oder im Bereich Lebensmittelproduktion: Reinräume sind mittlerweile in vielen Bereichen der Standard, der für höchste Qualität sorgt. Konzeption, Betrieb und Kontrolle von Reinräumen sind eine anspruchsvolle Aufgabe, an die eindeutige und verbindliche Anforderungen gestellt werden. Das vorliegende Buch versammelt auf fast 800 Seiten eine Vielzahl von Normen, welche für Praxis und Forschung die wichtigsten Informationen an die Hand geben –
kompakt, übersichtlich und optimal zusammengestellt. Dabei handelt es sich in erster Linie um die Normen der Reihe DIN EN ISO 14644 „Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche“.


Die neue 4. Auflage bietet unter anderem die neu herausgegebene Norm DIN EN ISO 14644-18 zur Reinraumtauglichkeit von Verbrauchsmaterialien sowie
viele Überarbeitungen in den weiteren enthaltenen Dokumenten, darunter die Teile 4, 8, 9 und 10 der Reihe.


Folgende Themenbereiche werden unter anderem abgedeckt:


  • Luftreinheitsklassifizierung
  • Planung, Ausführung, Inbetriebnahme
  • Betrieb
  • Überwachung, Prüfung und Bewertung
  • Bewertung der Reinraumtauglichkeit
  • Energieeffizienz


    • Das Buch richtet sich an:


    Herstellerbetriebe von Reinraumtechnik, Anlagen und Geräten, Betreibende von Reinräumen, Reinigungsfirmen, Behörden und Prüfende

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    Bibliographische Angaben

    Auflage
    4/2024
    Copyrightjahr
    2024
    ISBN-Print
    978-3-410-31966-5
    ISBN-Online
    978-3-410-31967-2
    Verlag
    DIN Media, Berlin
    Reihe
    Normen-Handbuch
    Sprache
    Deutsch
    Seiten
    780
    Produkttyp
    Sammelband

    Inhaltsverzeichnis

    KapitelSeiten
      1. Vorwort Kein Zugriff
      2. Inhaltsverzeichnis Kein Zugriff
      3. Hinweise zur Nutzung von DIN-Taschenbüchern Kein Zugriff
      4. DIN-Nummernverzeichnis Kein Zugriff
      5. Verzeichnis abgedruckter Normen Kein Zugriff
      6. Stichwortverzeichnis Kein Zugriff
      7. Service-Angebote von DIN Media Kein Zugriff
      1. Nationales Vorwort Kein Zugriff
        1. Inhalt Kein Zugriff
        2. Europäisches Vorwort Kein Zugriff
        3. 1 Anwendungsbereich Kein Zugriff
        4. 2 Normative Verweisungen Kein Zugriff
        5. 3 Begriffe Kein Zugriff
          1. 4.1 Allgemeines Kein Zugriff
          2. 4.2 Erstellung eines betrieblichen Systems der mikrobiologischen Kontrolle Kein Zugriff
          3. 4.3 Qualitätsattribute des Systems zur Kontrolle der mikrobiologischen Kontamination Kein Zugriff
            1. 4.4.1 Allgemeines Kein Zugriff
              1. 4.4.2.1 Allgemeines Kein Zugriff
              2. 4.4.2.2 Hauptquellen Kein Zugriff
              3. 4.4.2.3 Abgeleitete oder verbundene Quellen Kein Zugriff
            3. 4.4.3 Übertragungswege mikrobiologischer Kontamination Kein Zugriff
          5. 4.5 Risikobewertung Kein Zugriff
            1. 4.6.1 Allgemeines Kein Zugriff
            2. 4.6.2 Überwachungsorte Kein Zugriff
            3. 4.6.3 Überwachungsfrequenzen Kein Zugriff
          7. 4.7 Erstellen von Warn- und Aktionsgrenzen Kein Zugriff
          8. 4.8 Erstellung des Dokumentationssystems Kein Zugriff
          9. 4.9 Ausbildung und Schulung des Personals Kein Zugriff
          1. 5.1 Trendanalyse Kein Zugriff
            1. 5.2.1 Allgemeines Kein Zugriff
            2. 5.2.2 Untersuchung von Ergebnissen außerhalb der Spezifikation (en: out of specification, OOS) Kein Zugriff
            3. 5.2.3 Aufzeichnungen Kein Zugriff
            4. 5.2.4 Verfolgung der Proben Kein Zugriff
            5. 5.2.5 Integrität der Ergebnisse Kein Zugriff
            6. 5.2.6 Aufzeichnung von Daten Kein Zugriff
            7. 5.2.7 Datenauswertung Kein Zugriff
            8. 5.2.8 Trendanalyse Kein Zugriff
          1. 6.1 Allgemeines Kein Zugriff
          2. 6.2 Auswahl des Probenahmeverfahrens Kein Zugriff
          3. 6.3 Volumetrische Luftprobenahmegeräte Kein Zugriff
          4. 6.4 Kulturmedien und Inkubation Kein Zugriff
          5. 6.5 Inkubatoren Kein Zugriff
          1. A.1 Einleitung Kein Zugriff
          2. A.2 Bewertung des Risikos/der Auswirkung Kein Zugriff
          3. A.3 Demonstration der Kontrolle Kein Zugriff
          1. B.1 Einleitung Kein Zugriff
            1. B.2.1 Allgemeines Kein Zugriff
              1. B.2.2.1 Allgemeines Kein Zugriff
              2. B.2.2.2 Risikobewertung Kein Zugriff
              3. B.2.2.3 Mikrobiologisches Kontrollverfahren Kein Zugriff
              4. B.2.2.4 Empfohlener mikrobiologischer Überwachungsplan Kein Zugriff
              1. B.2.3.1 Allgemeines Kein Zugriff
              2. B.2.3.2 Risikobewertung Kein Zugriff
              3. B.2.3.3 Mikrobiologisches Kontrollverfahren Kein Zugriff
              4. B.2.3.4 Empfohlener Überwachungsplan Kein Zugriff
              1. B.2.4.1 Allgemeines Kein Zugriff
              2. B.2.4.2 Risikobewertung Kein Zugriff
              3. B.2.4.3 Mikrobiologisches Kontrollverfahren Kein Zugriff
              4. B.2.4.4 Empfohlener umweltbezogener mikrobiologischer (EM) Überwachungsplan Kein Zugriff
            1. B.3.1 Mikrobiologische Kontaminationsgrenzen Kein Zugriff
            2. B.3.2 Zusätzliche Erwägungen zur mikrobiologischen Kontrolle Kein Zugriff
            1. B.4.1 Zählung als Teil der Messverfahren (Abschnitt 6) Kein Zugriff
            2. B.4.2 Methoden für die Probenahme Kein Zugriff
              1. B.4.3.1 Anzahl der Messstellen Kein Zugriff
              2. B.4.3.2 Häufigkeit der Probenahme für die aktive Luftprobenahme Kein Zugriff
              3. B.4.3.3 Überwachung des Personals Kein Zugriff
          5. B.5 Andere informative Anhänge für Anwendungen von Medizinprodukten Kein Zugriff
          1. C.1 Einleitung Kein Zugriff
          2. C.2 Erstellung der Kontrolle in einer Gesundheitswesen-/Krankenhausanwendung Kein Zugriff
          3. C.3 Risikobewertung für Operationssaal- und Krankenhausanwendungen Kein Zugriff
          1. D.1 Einleitung Kein Zugriff
          2. D.2 Erstellung der mikrobiologischen Kontrolle Kein Zugriff
          3. D.3 Mikrobiologische Reinheitsgrade für die Überwachung Kein Zugriff
          4. D.4 Demonstration der mikrobiologischen Kontrolle Kein Zugriff
          5. D.5 Beispiel für die Lebensmittelherstellung Kein Zugriff
          1. E.1 Allgemeines Kein Zugriff
              1. E.2.1.1 Allgemeines Kein Zugriff
                1. E.2.1.2.1 Allgemeines Kein Zugriff
                2. E.2.1.2.2 Kaskadensammler (Mehrfachsieb-Sammler) Kein Zugriff
                3. E.2.1.2.3 Agar-Sammler mit nur einem Sieb Kein Zugriff
                4. E.2.1.2.4 Schlitz-zu-Agar-Sammler Kein Zugriff
                5. E.2.1.2.5 Zentrifugalsammler Kein Zugriff
                1. E.2.1.3.1 Allgemeines Kein Zugriff
                2. E.2.1.3.2 Membranfilter Kein Zugriff
                3. E.2.1.3.3 Flüssigkeitsaufprall Kein Zugriff
              4. E.2.1.4 Fernluftsammlung Kein Zugriff
            2. E.2.2 Sedimentationsplatten Kein Zugriff
            1. E.3.1 Allgemeines Kein Zugriff
            2. E.3.2 Kontaktplatten und -streifen Kein Zugriff
            3. E.3.3 Abstrichtupfer und Schwämme Kein Zugriff
            1. E.4.1 Allgemeines Kein Zugriff
            2. E.4.2 Eignung von Medien (Sterilität und Fähigkeit zur Wachstumsförderung) Kein Zugriff
            3. E.4.3 Dehydrierung des Mediums Kein Zugriff
            4. E.4.4 Hemmung durch Desinfektionsmittel auf Medien Kein Zugriff
            5. E.4.5 Platteninkubation Kein Zugriff
            1. E.5.1 Allgemeines Kein Zugriff
            2. E.5.2 Physikalische Sammlungseffizienz Kein Zugriff
            3. E.5.3 Biologische Sammlungseffizienz Kein Zugriff
              1. E.6.1.1 Allgemeines Kein Zugriff
                1. E.6.1.2.1 Stämme für die Prüfung der physikalischen Sammlungseffizienz Kein Zugriff
                2. E.6.1.2.2 Stämme für die Prüfung der biologischen Sammlungseffizienz Kein Zugriff
              3. E.6.1.3 Erzeugung mikrobentragender Partikel Kein Zugriff
              4. E.6.1.4 Prüfung Kein Zugriff
              1. E.6.2.1 Allgemeines Kein Zugriff
              2. E.6.2.2 Prüfung Kein Zugriff
            3. E.6.3 Inkubation Kein Zugriff
            4. E.6.4 Berechnung der Sammlungseffizienz aus den Prüfergebnissen Kein Zugriff
            5. E.6.5 Erneute Validierung des Luftprobenahmegeräts Kein Zugriff
          1. F.1 Allgemeines Kein Zugriff
          2. F.2 Implementierung von RMM und AMM Kein Zugriff
            1. F.3.1 Allgemeines Kein Zugriff
            2. F.3.2 Erwägungen zu Abnahmekriterien Kein Zugriff
            3. F.3.3 Erwägungen zur Durchführung der Verifizierungsprüfung Kein Zugriff
            1. F.4.1 Festlegung von Aktions- und Warngrenzen Kein Zugriff
            2. F.4.2 Ergebnis außerhalb der Aktions- und Warngrenzen Kein Zugriff
        15. Literaturhinweise Kein Zugriff
      3. Nationaler Anhang NA(informativ)Literaturhinweise Kein Zugriff
      1. Nationales Vorwort Kein Zugriff
        1. Inhalt Kein Zugriff
        2. Europäisches Vorwort Kein Zugriff
        3. Einleitung Kein Zugriff
        4. 1 Anwendungsbereich Kein Zugriff
        5. 2 Normative Verweisungen Kein Zugriff
          1. 3.1 Allgemeines Kein Zugriff
          2. 3.2 Luftgetragene Partikel Kein Zugriff
          3. 3.3 Betriebszustände Kein Zugriff
          4. 3.4 Prüfung (siehe Anhang F) Kein Zugriff
          5. 3.5 Gerätespezifikationen Kein Zugriff
          1. 4.1 Betriebszustand oder Betriebszustände Kein Zugriff
          2. 4.2 Partikelgröße(n) Kein Zugriff
          3. 4.3 Klassifizierungszahl Kein Zugriff
          4. 4.4 Kennzeichnung Kein Zugriff
          5. 4.5 Dezimale Zwischenklassen der Reinheit und der Schwellenwerte der Partikelgröße Kein Zugriff
          1. 5.1 Grundlage Kein Zugriff
          2. 5.2 Prüfung Kein Zugriff
          3. 5.3 Bewertung der Partikelkonzentration der Luft Kein Zugriff
          4. 5.4 Prüfbericht Kein Zugriff
          1. A.1 Kurzbeschreibung Kein Zugriff
            1. A.2.1 Partikelzähler Kein Zugriff
            2. A.2.2 Kalibrierung des Messgerätes Kein Zugriff
          3. A.3 Vorbereitung der Partikelzählprüfung Kein Zugriff
            1. A.4.1 Ableitung der Anzahl der Probenahmeorte Kein Zugriff
            2. A.4.2 Anordnung der Probenahmeorte Kein Zugriff
            3. A.4.3 Probenahmeorte für große Reinräume oder reine Bereiche Kein Zugriff
            4. A.4.4 Feststellung des Einzelprobenvolumens und der Probenahmezeit je Probenahmeort Kein Zugriff
          5. A.5 Probenahmeverfahren Kein Zugriff
              1. A.6.1.1 Mittlere Partikelkonzentration an jedem Probenahmeort Kein Zugriff
              2. A.6.1.2 Berechnung der Konzentration je Kubikmeter Kein Zugriff
              1. A.6.2.1 Klassifizierungsanforderungen Kein Zugriff
              2. A.6.2.2 Ergebnis außerhalb der Spezifikation Kein Zugriff
          1. B.1 Beispiel 1 Kein Zugriff
          2. B.2 Beispiel 2 Kein Zugriff
          3. B.3 Beispiel 3 Kein Zugriff
          4. B.4 Beispiel 4 Kein Zugriff
          5. B.5 Beispiel 5 Kein Zugriff
          6. B.6 Beispiel 6 Kein Zugriff
          1. C.1 Kurzbeschreibung Kein Zugriff
            1. C.2.1 Anwendung Kein Zugriff
            2. C.2.2 M-Deskriptor-Format Kein Zugriff
            1. C.3.1 Kurzbeschreibung Kein Zugriff
            2. C.3.2 Allgemeines Kein Zugriff
            3. C.3.3 Erwägungen zur Probenhandhabung Kein Zugriff
              1. C.3.4.1 Messung vor Ort (in situ) Kein Zugriff
              2. C.3.4.2 Sammlung Kein Zugriff
              1. C.4.1.1 Allgemeines Kein Zugriff
              2. C.4.1.2 Messung mit einem Streulicht-Einzelpartikelzähler (LSAPC) Kein Zugriff
              3. C.4.1.3 Partikeldepositionszeitmessung Kein Zugriff
              1. C.4.2.1 Allgemeines Kein Zugriff
              2. C.4.2.2 Sammlung auf Filtern und mikroskopische Messung Kein Zugriff
              3. C.4.2.3 Sammlung mittels Kaskadenimpaktor und Messung Kein Zugriff
          5. C.5 Verfahren zur Zählung von Makropartikeln Kein Zugriff
          6. C.6 Prüfberichte für die Probenahme von Makropartikeln Kein Zugriff
          7. C.7 Adaption des Makropartikel-Deskriptors, um die Berücksichtigung der ≥ 5-µm-Partikelgröße für Reinräume nach ISO-Klasse 5 zu erfassen Kein Zugriff
            1. D.1.1 Hintergrund Kein Zugriff
            2. D.1.2 Einschränkungen Kein Zugriff
          2. D.2 Verfahrensgrundlage Kein Zugriff
          3. D.3 Probenahmeverfahren Kein Zugriff
            1. D.4.1 Beispiel 1 Kein Zugriff
            2. D.4.2 Beispiel 2 Kein Zugriff
          1. E.1 Dezimale Zwischenklassen der Reinheit Kein Zugriff
          2. E.2 Zwischengrößen von Partikeln Kein Zugriff
          1. F.1 Einleitung Kein Zugriff
          2. F.2 Gerätespezifikationen Kein Zugriff
        15. Literaturhinweise Kein Zugriff
      1. Nationales Vorwort Kein Zugriff
        1. Inhalt Kein Zugriff
        2. Europäisches Vorwort Kein Zugriff
        3. Einleitung Kein Zugriff
        4. 1 Anwendungsbereich Kein Zugriff
        5. 2 Normative Verweisungen Kein Zugriff
        6. 3 Begriffe Kein Zugriff
          1. 4.1 Kurzbeschreibung Kein Zugriff
          2. 4.2 Risikobewertung Kein Zugriff
          3. 4.3 Überwachungsplan Kein Zugriff
          4. 4.4 Kalibrierung Kein Zugriff
          5. 4.5 Bewertung und Freigabe Kein Zugriff
          6. 4.6 Reaktion auf eine Abweichung während der Überwachung Kein Zugriff
        8. 5 Regelmäßige Klassifizierung der Luftreinheit anhand der Partikelkonzentration Kein Zugriff
            1. A.1.1 Auswahl eines geeigneten Instrumentes zur Risikobewertung Kein Zugriff
            2. A.1.2 Festlegung der geforderten Leistung und der Betriebsbedingungen, die gegebenenfalls zu überwachen sind Kein Zugriff
          2. A.2 Allgemeine Überlegungen Kein Zugriff
          3. A.3 Überwachung des Differenzdrucks Kein Zugriff
          4. A.4 Überwachungssystem der luftgetragenen Partikel Kein Zugriff
          5. A.5 Überwachung der Luftgeschwindigkeit und des Luftvolumens Kein Zugriff
          1. B.1 Allgemeine Grundlage zur Festlegung der Warn- und Aktionsgrenzen Kein Zugriff
              1. B.2.1.1 Die Auswirkungen des Betriebs der Schleusentüren Kein Zugriff
              2. B.2.1.2 Die Auswirkungen der Prozessausrüstung Kein Zugriff
            2. B.2.2 Einstellen der Warn- und Aktionsgrenzen Kein Zugriff
            3. B.2.3 Messgeräteausrüstung für den Differenzdruck Kein Zugriff
            1. B.3.1 Allgemeine Leitlinien Kein Zugriff
            2. B.3.2 Einführung des normalen Betriebsbereichs für die Partikelanzahlen Kein Zugriff
            3. B.3.3 Einstellung der Warn- und Aktionsgrenzen für die Partikelanzahlen Kein Zugriff
            4. B.3.4 Mögliche alternative Strategien für Warngrenzen für Partikelanzahlen Kein Zugriff
        11. Literaturhinweise Kein Zugriff
      1. Nationales Vorwort Kein Zugriff
        1. Inhalt Kein Zugriff
        2. Europäisches Vorwort Kein Zugriff
        3. Vorwort Kein Zugriff
        4. Einleitung Kein Zugriff
        5. 1 Anwendungsbereich Kein Zugriff
        6. 2 Normative Verweisungen Kein Zugriff
          1. 3.1 Allgemeine Begriffe Kein Zugriff
          2. 3.2 Begriffe in Bezug auf luftgetragene Partikel Kein Zugriff
          3. 3.3 Begriffe in Bezug auf Luftfilter und Luftfiltersysteme Kein Zugriff
          4. 3.4 Begriffe in Bezug auf Luftströmung und andere physikalische Zustandsgrößen Kein Zugriff
          5. 3.5 Begriffe in Bezug auf elektrostatische Messung Kein Zugriff
          6. 3.6 Begriffe in Bezug auf Messgeräte und Messbedingungen Kein Zugriff
          7. 3.7 Begriffe in Bezug auf Betriebszustände Kein Zugriff
            1. 4.1.1 Allgemeines Kein Zugriff
            2. 4.1.2 Hilfsprüfungen Kein Zugriff
            1. 4.2.1 Prüfung des Differentialdrucks der Luft Kein Zugriff
            2. 4.2.2 Strömungsprüfung Kein Zugriff
            3. 4.2.3 Prüfung der Luftströmungsrichtung und Sichtbarmachung der Strömung Kein Zugriff
            4. 4.2.4 Prüfung der Erholzeit Kein Zugriff
            5. 4.2.5 Temperaturprüfung Kein Zugriff
            6. 4.2.6 Prüfung der Luftfeuchte Kein Zugriff
            7. 4.2.7 Leckprüfungen am eingebauten Filtersystem Kein Zugriff
            8. 4.2.8 Leckprüfung der Abschließung Kein Zugriff
            9. 4.2.9 Elektrostatische Prüfung und Überprüfung von Ionengeneratoren Kein Zugriff
            10. 4.2.10 Prüfung der Partikelsedimentation Kein Zugriff
            11. 4.2.11 Entmischungsprüfung Kein Zugriff
        9. 5 Prüfberichte Kein Zugriff
          1. A.1 Allgemeines Kein Zugriff
          2. A.2 Checkliste für die Prüfung Kein Zugriff
          3. A.3 Planung von Prüfungen und Nachprüfungen Kein Zugriff
            1. B.1.1 Allgemeines Kein Zugriff
            2. B.1.2 Verfahren für die Prüfung des Differentialdrucks Kein Zugriff
            3. B.1.3 Geräte für die Prüfung des Differentialdrucks Kein Zugriff
            4. B.1.4 Prüfberichte Kein Zugriff
            1. B.2.1 Allgemeines Kein Zugriff
              1. B.2.2.1 Allgemeines Kein Zugriff
              2. B.2.2.2 Geschwindigkeit des Zuluftvolumenstroms Kein Zugriff
              3. B.2.2.3 Gleichförmigkeit der Geschwindigkeit innerhalb des Reinraums oder reinen Bereichs Kein Zugriff
              4. B.2.2.4 Zuluftvolumenstrom, berechnet aus der Geschwindigkeitsmessung Kein Zugriff
              5. B.2.2.5 Berechnung des Zuluftvolumenstrom aus der Geschwindigkeitsmessung in Luftleitungen Kein Zugriff
              1. B.2.3.1 Allgemeines Kein Zugriff
              2. B.2.3.2 Zuluftvolumenstrom, gemessen mittels einer Messhaube Kein Zugriff
              3. B.2.3.3 Berechnung des Zuluftvolumenstroms aus der Geschwindigkeit Kein Zugriff
              4. B.2.3.4 Zuluftvolumenstrom, berechnet mittels Geschwindigkeitsmessung in Luftleitungen Kein Zugriff
            4. B.2.4 Geräte für Strömungsprüfungen Kein Zugriff
            5. B.2.5 Prüfberichte Kein Zugriff
            1. B.3.1 Allgemeines Kein Zugriff
            2. B.3.2 Verfahren Kein Zugriff
              1. B.3.3.1 Tracerfadenverfahren Kein Zugriff
              2. B.3.3.2 Tracerinjektionsverfahren Kein Zugriff
              3. B.3.3.3 Strömungssichtbarmachung durch Bildverarbeitungstechniken Kein Zugriff
              4. B.3.3.4 Bewertung der Luftströmungsverteilung durch Messung von Geschwindigkeitsverteilungen Kein Zugriff
            4. B.3.4 Für die Prüfung der Luftströmungsrichtung und Sichtbarmachung der Strömung verwendete Geräte Kein Zugriff
            5. B.3.5 Prüfberichte Kein Zugriff
            1. B.4.1 Allgemeines Kein Zugriff
            2. B.4.2 Aufreinigungsleistung Kein Zugriff
              1. B.4.3.1 Auswahl von Messpunkten Kein Zugriff
              2. B.4.3.2 Prüfverfahren Kein Zugriff
              3. B.4.3.3 Bewertung mittels der 10 : 1- oder 100 : 1Erholzeit Kein Zugriff
              4. B.4.3.4 Bewertung mittels der Reinheitserholungsrate Kein Zugriff
            4. B.4.4 Geräte für die Prüfung der Erholzeit Kein Zugriff
            5. B.4.5 Prüfberichte Kein Zugriff
            1. B.5.1 Allgemeines Kein Zugriff
            2. B.5.2 Messgeräte für die Temperaturprüfung Kein Zugriff
            1. B.6.1 Allgemeines Kein Zugriff
            2. B.6.2 Geräte für die Feuchteprüfung Kein Zugriff
              1. B.7.1.1 Verfahren Kein Zugriff
              2. B.7.1.2 Verfahren unter Verwendung eines Aerosolphotometers Kein Zugriff
              3. B.7.1.3 Verfahren bei Verwendung eines Streulicht-Einzelpartikelzählers (LSAPC) Kein Zugriff
              1. B.7.2.1 Allgemeines Kein Zugriff
              2. B.7.2.2 Festlegung der Sondengröße Kein Zugriff
              3. B.7.2.3 Bestimmung der Abtastgeschwindigkeit Kein Zugriff
              4. B.7.2.4 Abnahmekriterien Kein Zugriff
              5. B.7.2.5 Auswahl des rohluftseitig aufzugebenden Aerosols Kein Zugriff
              6. B.7.2.6 Konzentration der Aerosolbeaufschlagung rohluftseitig und deren Nachprüfung Kein Zugriff
              7. B.7.2.7 Verfahren für die Leckprüfung an eingebauten Filtersystemen mittels kontinuierlicher Abtastung Kein Zugriff
              1. B.7.3.1 Allgemeines Kein Zugriff
              2. B.7.3.2 Festlegung der Sondengröße Kein Zugriff
              3. B.7.3.3 Bestimmung der Abtastgeschwindigkeit Kein Zugriff
              4. B.7.3.4 Für Zählungen zu berücksichtigende Partikelgröße und Abnahmekriterien Kein Zugriff
              5. B.7.3.5 Erwartete Anzahl der gezählten Partikel Kein Zugriff
              6. B.7.3.6 Auswahl des rohluftseitig aufzugebenden Aerosols Kein Zugriff
              7. B.7.3.7 Konzentration der Aerosolbeaufschlagung rohluftseitig und deren Nachprüfung Kein Zugriff
              8. B.7.3.8 Verfahren für die Abtastprüfung auf Lecks am eingebauten Filtersystem, Abtastprüfung Stufe 1 Kein Zugriff
              9. B.7.3.9 Verfahren für die Nachmessung mit ruhender Sonde Kein Zugriff
              10. B.7.3.10 Beispiel einer Anwendung mit Auswertung Kein Zugriff
            4. B.7.4 Verfahren für die Gesamtprüfung von Lecks der in Luftleitungen oder luftführenden Geräten eingebauten Filter Kein Zugriff
            5. B.7.5 Messgeräte und Materialien für die Leckprüfung des eingebauten Filtersystems Kein Zugriff
            6. B.7.6 Reparaturen und Reparaturverfahren Kein Zugriff
            7. B.7.7 Prüfberichte Kein Zugriff
            1. B.8.1 Allgemeines Kein Zugriff
              1. B.8.2.1 Verfahren bei Verwendung eines Streulicht-Einzelpartikelzählers (LSAPC) Kein Zugriff
              2. B.8.2.2 Verfahren bei Verwendung eines Aerosolphotometers Kein Zugriff
            3. B.8.3 Geräte für die Leckprüfung der Abschließung Kein Zugriff
            4. B.8.4 Prüfberichte Kein Zugriff
            1. B.9.1 Allgemeines Kein Zugriff
              1. B.9.2.1 Verfahren für die elektrostatische Prüfung Kein Zugriff
              2. B.9.2.2 Verfahren für die Prüfung des Ionengenerators Kein Zugriff
            3. B.9.3 Messgeräte für die elektrostatische Prüfung und die Prüfung des Ionengenerators Kein Zugriff
            4. B.9.4 Prüfberichte Kein Zugriff
            1. B.10.1 Allgemeines Kein Zugriff
              1. B.10.2.1 Sammeln von Partikeln auf Vergleichsplatten Kein Zugriff
              2. B.10.2.2 Zählung und Größenbestimmung der gesammelten Partikel Kein Zugriff
            3. B.10.3 Geräte für die Prüfung der Partikelsedimentation Kein Zugriff
            4. B.10.4 Bestimmung von Probenahmezeit und Oberfläche Kein Zugriff
            5. B.10.5 Prüfberichte Kein Zugriff
            1. B.11.1 Allgemeines Kein Zugriff
              1. B.11.2.1 Erzeugung einer Referenzkonzentration Kein Zugriff
              2. B.11.2.2 Einrichtungsgeometrie Kein Zugriff
              3. B.11.2.3 Messverfahren Kein Zugriff
              4. B.11.2.4 Berechnung des Schutzindex Kein Zugriff
            3. B.11.3 Prüfberichte Kein Zugriff
          1. C.1 Allgemeines Kein Zugriff
            1. C.2.1 Allgemeines Kein Zugriff
              1. C.3.1.1 Allgemeines Kein Zugriff
              1. C.3.2.1 Allgemeines Kein Zugriff
          4. C.4 Prüfung der Luftströmungsrichtung und Sichtbarmachung der Strömung Kein Zugriff
          5. C.5 Prüfung der Erholzeit Kein Zugriff
          6. C.6 Temperaturprüfung Kein Zugriff
          7. C.7 Prüfung der Luftfeuchte Kein Zugriff
          8. C.8 Leckprüfung am eingebauten Filtersystem Kein Zugriff
          9. C.9 Leckprüfung der Abschließung Kein Zugriff
          10. C.10 Elektrostatische Prüfung und Überprüfung von Ionengeneratoren Kein Zugriff
          11. C.11 Prüfung der Partikelsedimentation Kein Zugriff
          12. C.12 Entmischungsprüfung Kein Zugriff
        13. Literaturhinweise Kein Zugriff
      3. Nationaler Anhang NA (informativ) Literaturhinweise Kein Zugriff
      1. Nationales Vorwort Kein Zugriff
      2. Nationaler Anhang NA (informativ) Literaturhinweise Kein Zugriff
      3. Inhalt Kein Zugriff
      4. Europäisches Vorwort Kein Zugriff
      5. Vorwort Kein Zugriff
      6. Einleitung Kein Zugriff
      7. 1 Anwendungsbereich Kein Zugriff
      8. 2 Normative Verweisungen Kein Zugriff
      9. 3 Begriffe Kein Zugriff
      10. 4 Abkürzungen Kein Zugriff
      11. 5 Allgemeines Kein Zugriff
        1. 6.1 Reinraumanforderungen Kein Zugriff
        2. 6.2 Sonstige Anforderungen Kein Zugriff
        3. 6.3 Dokumentation Kein Zugriff
        1. 7.1 Allgemeines Kein Zugriff
        2. 7.2 Entwurfsplanung Kein Zugriff
        3. 7.3 Grundlegende Planung Kein Zugriff
        4. 7.4 Ausführungsplanung Kein Zugriff
        5. 7.5 Änderungsmanagement Kein Zugriff
        1. 8.1 Allgemeines Kein Zugriff
          1. 8.2.1 Allgemeines Kein Zugriff
          2. 8.2.2 Terminplan Kein Zugriff
          3. 8.2.3 Qualitätsplan Kein Zugriff
          4. 8.2.4 Reinraumprotokoll Kein Zugriff
        3. 8.3 Ausführungsverifizierung Kein Zugriff
        4. 8.4 Dokumentation Kein Zugriff
        1. 9.1 Allgemeines Kein Zugriff
          1. 9.2.1 Allgemeines Kein Zugriff
          2. 9.2.2 Ingangsetzung Kein Zugriff
          3. 9.2.3 Funktions- und Leistungsverifizierungen Kein Zugriff
        3. 9.3 Schulung Kein Zugriff
        4. 9.4 Übergabe Kein Zugriff
          1. 9.5.1 Dokumentation der Inbetriebnahme Kein Zugriff
          2. 9.5.2 Anweisungen zur Leistungsüberwachung Kein Zugriff
          3. 9.5.3 Instandhaltungsanweisungen Kein Zugriff
          4. 9.5.4 Instandhaltungsaufzeichnungen Kein Zugriff
          5. 9.5.5 Schulungsaufzeichnungen Kein Zugriff
        1. A.1 Allgemeines Kein Zugriff
        2. A.2 Kontaminationsmechanismen Kein Zugriff
        3. A.3 Überwachung von Reinheitsmerkmalen Kein Zugriff
        4. A.4 Prüflisten hinsichtlich der Anforderungen Kein Zugriff
        1. B.1 Allgemeines Kein Zugriff
          1. B.2.1 Bereichseinteilung Kein Zugriff
          2. B.2.2 Abgrenzung Kein Zugriff
          3. B.2.3 Luftströmungskonzepte Kein Zugriff
          1. B.3.1 Allgemeines Kein Zugriff
          2. B.3.2 Quellstärken Kein Zugriff
          3. B.3.3 Lüftungseffektivitätsindex Kein Zugriff
          4. B.3.4 Weitere Überlegungen für die Berechnung der Zuluftrate Kein Zugriff
          5. B.3.5 Partikelentfernungsrate Kein Zugriff
        4. B.4 Anwendung von CFD Kein Zugriff
          1. B.5.1 Allgemeines Kein Zugriff
          2. B.5.2 Minderung elektrostatische Auf- und Entladung Kein Zugriff
          3. B.5.3 Überlegungen zu bestimmten Bauteilen Kein Zugriff
          1. B.6.1 Allgemeines Kein Zugriff
          2. B.6.2 Luftschleusen Kein Zugriff
          3. B.6.3 Umkleideräume Kein Zugriff
          4. B.6.4 Anordnung des Arbeitsplatzes Kein Zugriff
          5. B.6.5 Unterstützende Nebenbereiche und angrenzende Reinräume Kein Zugriff
          6. B.6.6 Medienversorgung und Hilfsgeräte Kein Zugriff
        7. B.7 Prüfliste hinsichtlich der Planung Kein Zugriff
          1. C.1.1 Allgemeines Kein Zugriff
          2. C.1.2 Materialhandhabung während der Ausführung Kein Zugriff
          3. C.1.3 Ausführung von Decken, Wänden und Böden Kein Zugriff
          1. C.2.1 Reinheit und Reinigung während der Ausführung Kein Zugriff
          2. C.2.2 Umsetzung des Reinraumprotokolls Kein Zugriff
        3. C.3 Ausführungspersonal Kein Zugriff
        4. C.4 Ausführungsverifizierung Kein Zugriff
        5. C.5 Prüflisten hinsichtlich der Ausführung Kein Zugriff
        1. D.1 Allgemeines Kein Zugriff
        2. D.2 Vor-Inbetriebnahme Kein Zugriff
          1. D.3.1 Allgemeines Kein Zugriff
          2. D.3.2 Ingangsetzung Kein Zugriff
          3. D.3.3 Verifizierung Kein Zugriff
        4. D.4 Dokumentation der Erst-Inbetriebnahme Kein Zugriff
        5. D.5 Prüflisten hinsichtlich der Erst-Inbetriebnahme Kein Zugriff
      20. Literaturhinweise Kein Zugriff
    7. DIN EN ISO 14644-5:2005-03 Kein Zugriff 283 - 334
    8. DIN EN ISO 14644-7:2005-01 Kein Zugriff 335 - 394
      1. Nationales Vorwort Kein Zugriff
      2. Nationaler Anhang NA (informativ) Literaturhinweise Kein Zugriff
      3. Inhalt Kein Zugriff
      4. Europäisches Vorwort Kein Zugriff
      5. Vorwort Kein Zugriff
      6. Einleitung Kein Zugriff
      7. 1 Anwendungsbereich Kein Zugriff
      8. 2 Normative Verweisungen Kein Zugriff
        1. 3.1 Allgemeines Kein Zugriff
        2. 3.2 Kontaminantenfamilien Kein Zugriff
        1. 4.1 Allgemeines Kein Zugriff
        2. 4.2 Format des ISO-ACC-Deskriptors Kein Zugriff
        1. 5.1 Kurzbeschreibung Kein Zugriff
        2. 5.2 Prüfung Kein Zugriff
        3. 5.3 Prüfbericht Kein Zugriff
        1. A.1 Kurzbeschreibung Kein Zugriff
        2. A.2 Schritte zur Bestimmung von Parametern Kein Zugriff
        3. A.3 Außenluft Kein Zugriff
        4. A.4 Baumaterialien Kein Zugriff
        5. A.5 Querkontamination Kein Zugriff
        6. A.6 Betrieb und Wartung Kein Zugriff
        7. A.7 Personal Kein Zugriff
        8. A.8 Weitere Quellen Kein Zugriff
        9. A.9 Luftbehandlungsverfahren zur Reduzierung chemischer Luftverunreinigung Kein Zugriff
      13. Anhang B (informativ) Typische Kontaminanten Kein Zugriff
        1. C.1 Kurzbeschreibung Kein Zugriff
        2. C.2 Verfahrenskonzepte Kein Zugriff
          1. C.3.1 Übliche Probenahmeverfahren Kein Zugriff
          2. C.3.2 Typische Analyseverfahren Kein Zugriff
        1. D.1 Kurzbeschreibung Kein Zugriff
        2. D.2 Spezielle Überlegungen Kein Zugriff
      16. Literaturhinweise Kein Zugriff
      1. Nationales Vorwort Kein Zugriff
      2. Nationaler Anhang NA (informativ) Literaturhinweise Kein Zugriff
      3. Inhalt Kein Zugriff
      4. Europäisches Vorwort Kein Zugriff
      5. Vorwort Kein Zugriff
      6. Einleitung Kein Zugriff
      7. 1 Anwendungsbereich Kein Zugriff
      8. 2 Normative Verweisungen Kein Zugriff
      9. 3 Begriffe Kein Zugriff
      10. 4 Abkürzungen Kein Zugriff
        1. 5.1 Format der ISO-SCP- Bewertungsstufe Kein Zugriff
        2. 5.2 Bezeichnung Kein Zugriff
        3. 5.3 Allgemeine Angaben zu den partikulären Oberflächenreinheitsstufen Kein Zugriff
        1. 6.1 Kurzbeschreibung Kein Zugriff
        2. 6.2 Prüfung Kein Zugriff
        3. 6.3 Prüfbericht Kein Zugriff
        1. A.1 Beschreibung der Oberfläche Kein Zugriff
          1. A.2.1 Rauheit Kein Zugriff
          2. A.2.2 Porosität Kein Zugriff
          3. A.2.3 Härte Kein Zugriff
          4. A.2.4 Statische Elektrizität Kein Zugriff
          5. A.2.5 Oberflächenspannung Kein Zugriff
        1. B.1 Anwendung Kein Zugriff
        2. B.2 Oberflächendeskriptor für festgelegte Partikelgrößenbereiche Kein Zugriff
        1. C.1 Hintergrund Kein Zugriff
          1. C.2.1 Physikalische oder chemische Eigenschaften Kein Zugriff
          2. C.2.2 Form der Oberfläche und Partikel Kein Zugriff
          3. C.2.3 Fähigkeit zur Messung oder Analyse und angemessene statistische Hilfsmittel für die Analyse der Partikel Kein Zugriff
          4. C.2.4 Herkunft der Partikel Kein Zugriff
        1. D.1 Partikuläre Oberflächenreinheit Kein Zugriff
          1. D.2.1 Allgemeines Kein Zugriff
          2. D.2.2 Anforderungen an das Messverfahren Kein Zugriff
          3. D.2.3 Messverfahren Kein Zugriff
          4. D.2.4 Bestimmung der Anzahl der Proben Kein Zugriff
          5. D.2.5 Verpackung der Prüfproben Kein Zugriff
          6. D.2.6 Messtechniken Kein Zugriff
          7. D.2.7 Weitere Messsysteme Kein Zugriff
        3. D.3 Dokumentation der partikulären Oberflächenreinheit Kein Zugriff
      17. Literaturhinweise Kein Zugriff
      1. Nationales Vorwort Kein Zugriff
      2. Nationaler Anhang NA (informativ) Literaturhinweise Kein Zugriff
      3. Inhalt Kein Zugriff
      4. Europäisches Vorwort Kein Zugriff
      5. Vorwort Kein Zugriff
      6. 1 Anwendungsbereich Kein Zugriff
      7. 2 Normative Verweisungen Kein Zugriff
      8. 3 Begriffe Kein Zugriff
        1. 4.1 Kurzbeschreibung zur Prüfung von chemischen Oberflächenkontaminationen bei reinen Oberflächen in Reinräumen und Reinraumbereichen Kein Zugriff
        2. 4.2 Format des ISO-SCC-Deskriptors Kein Zugriff
        3. 4.3 ISO-SCC-Bewertungsstufe Kein Zugriff
        4. 4.4 Konverter für Stoffe in atomare Oberflächenkonzentration Kein Zugriff
        1. 5.1 Kriterien für eine gute Bewertung der Reinheit Kein Zugriff
          1. 5.2.1 Kurzbeschreibung Kein Zugriff
          2. 5.2.2 Prüfung Kein Zugriff
          3. 5.2.3 Prüfbericht Kein Zugriff
        1. A.1 Kurzbeschreibung Kein Zugriff
        2. A.2 Beispiele Kein Zugriff
        1. B.1 Parameter Kein Zugriff
        2. B.2 Überlegungen Kein Zugriff
        1. C.1 Kurzbeschreibung Kein Zugriff
        2. C.2 Überlegungen Kein Zugriff
          1. D.1.1 Kurzbeschreibung Kein Zugriff
          2. D.1.2 Messmatrix Kein Zugriff
          3. D.1.3 Allgemeines Anwendungsgebiet der grundsätzlichen Messverfahren Kein Zugriff
          1. D.2.1 Allgemeines Kein Zugriff
          2. D.2.2 Anforderungen des Prüfverfahrens Kein Zugriff
          3. D.2.3 Direkte oder indirekte Messverfahren Kein Zugriff
          4. D.2.4 Verpackung der Prüfproben Kein Zugriff
          5. D.2.5 Verfahren zur Vorbehandlung Kein Zugriff
          6. D.2.6 Vergleichende Prüfverfahren Kein Zugriff
          7. D.2.7 Direkte Messungen Kein Zugriff
          8. D.2.8 Indirekte Messverfahren (Vorbehandlung und Messung) Kein Zugriff
          9. D.2.9 Probenahme, Analyse und damit verbundene Elemente der Qualitätskontrolle Kein Zugriff
          10. D.2.10 Qualitätskontrolle der Analyse Kein Zugriff
      15. Anhang E (informativ) Prüfprotokoll Kein Zugriff
      16. Literaturhinweise Kein Zugriff
      1. Nationales Vorwort Kein Zugriff
        1. Inhalt Kein Zugriff
        2. Europäisches Vorwort Kein Zugriff
        3. Vorwort Kein Zugriff
        4. Einleitung Kein Zugriff
        5. 1 Anwendungsbereich Kein Zugriff
        6. 2 Normative Verweisungen Kein Zugriff
        7. 3 Begriffe Kein Zugriff
          1. 4.1 Überblick Kein Zugriff
          2. 4.2 Methodik Kein Zugriff
        9. 5 Objektbeschreibung Kein Zugriff
        10. 6 Reinheitsspezifikationen Kein Zugriff
          1. 7.1 Allgemeines Kein Zugriff
          2. 7.2 Bestimmung des anfänglichen Kontaminationsgrades in Bezug auf die Partikelkonzentration Kein Zugriff
          3. 7.3 Bestimmung des anfänglichen Kontaminationsgrades in Bezug auf die chemische Konzentration Kein Zugriff
        12. 8 Andere Anforderungen Kein Zugriff
          1. 9.1 Auswahlverfahren Kein Zugriff
            1. 9.2.1 Reinigungsverfahren Kein Zugriff
            2. 9.2.2 Kategorien von Reinigungstechniken Kein Zugriff
          3. 9.3 Reinigungsprozess Kein Zugriff
        14. 10 Überprüfung der Werkstoffkompatibilität Kein Zugriff
          1. 11.1 Allgemeines Kein Zugriff
            1. 11.2.1 Bewertung Kein Zugriff
            2. 11.2.2 Wirkungsgrad der Reinigung in Bezug auf die Partikelkonzentration Kein Zugriff
            3. 11.2.3 Wirkungsgrad der Reinigung in Bezug auf die chemischen Kontamination Kein Zugriff
            1. 11.3.1 Bewertung Kein Zugriff
            2. 11.3.2 Eignung der Reinigung in Bezug auf die Partikelkonzentration Kein Zugriff
            3. 11.3.3 Eignung der Reinigung in Bezug auf die chemischen Konzentration Kein Zugriff
          1. 12.1 Allgemeines Kein Zugriff
            1. 12.2.1 Allgemeines Kein Zugriff
            2. 12.2.2 Direkte Messverfahren in Bezug auf SCP Kein Zugriff
            3. 12.2.3 Direkte Messverfahren in Bezug auf die SCC Kein Zugriff
            1. 12.3.1 Allgemeines Kein Zugriff
            2. 12.3.2 Indirekte Messverfahren in Bezug auf die SCP Kein Zugriff
            3. 12.3.3 Indirekte Messverfahren in Bezug auf die SCC Kein Zugriff
        17. 13 Dokumentation Kein Zugriff
        18. Anhang A (informativ) Aspekte der Reinigung Kein Zugriff
          1. B.1 Allgemeines Kein Zugriff
            1. B.2.1 Wischen Kein Zugriff
            2. B.2.2 Bürsten/Fegen Kein Zugriff
            3. B.2.3 Abkratzen/Abschaben Kein Zugriff
            4. B.2.4 Schleifen Kein Zugriff
            1. B.3.1 Waschen/Spülen/Trocknen Kein Zugriff
            2. B.3.2 Reinigung durch Druckgas Kein Zugriff
            3. B.3.3 Unterdruckreinigung Kein Zugriff
              1. B.3.4.1 Ultraschallreinigung Kein Zugriff
              2. B.3.4.2 Megaschallreinigung Kein Zugriff
            5. B.3.5 Sprühreinigung Kein Zugriff
            1. B.4.1 Allgemeines Kein Zugriff
              1. B.4.2.1 Druckluftbestrahlung Kein Zugriff
              2. B.4.2.2 Nass-Druckluftbestrahlung Kein Zugriff
              3. B.4.2.3 CO2-Pelletreinigung Kein Zugriff
              4. B.4.2.4 Beschleunigte CO2-Schneereinigung Kein Zugriff
              1. B.4.3.1 Bestrahlung durch Flüssigkeiten unter Druck Kein Zugriff
              2. B.4.3.2 Niederdruck-Wasserbestrahlung Kein Zugriff
              3. B.4.3.3 Schlämmbestrahlung Kein Zugriff
              4. B.4.3.4 Dampfbestrahlung Kein Zugriff
            1. B.5.1 Allgemeines Kein Zugriff
            2. B.5.2 Ätzen Kein Zugriff
            3. B.5.3 Chemische Reaktion Kein Zugriff
            4. B.5.4 Dampfreinigung Kein Zugriff
            5. B.5.5 Plasmareinigung Kein Zugriff
            6. B.5.6 Ozonreinigung Kein Zugriff
          6. B.6 Arbeitsbereiche der beschriebenen Reinigungstechniken Kein Zugriff
        20. Anhang C (informativ) Werkstoffkompatibilität mit Reinigungsmitteln Kein Zugriff
          1. D.1 Allgemeines Kein Zugriff
          2. D.2 Sichtprüfung Kein Zugriff
          3. D.3 Direkte Messung der Oberflächenreinheit Kein Zugriff
            1. D.4.1 Allgemeines Kein Zugriff
            2. D.4.2 Extraktionstechniken Kein Zugriff
            3. D.4.3 Extraktion aus dem Objekt Kein Zugriff
            4. D.4.4 Extraktion aus dem Wischtuch Kein Zugriff
            1. D.5.1 Allgemeines Kein Zugriff
              1. D.5.2.1 Sichtprüfung Kein Zugriff
              2. D.5.2.2 Lichtmikroskopie Kein Zugriff
              3. D.5.2.3 Schräglicht-, Streiflicht- und Seitenlicht-Messsysteme Kein Zugriff
              4. D.5.2.4 Rasterelektronenmikroskopie (SEM) Kein Zugriff
              5. D.5.2.5 Optische Partikelzählung Kein Zugriff
              6. D.5.2.6 Partikelzählung mit Lichtextinktion Kein Zugriff
              7. D.5.2.7 Streulicht-Oberflächenscanner Kein Zugriff
              8. D.5.2.8 Analyse durch Rasterkraftmikroskopie (AFM) Kein Zugriff
              9. D.5.2.9 Gravimetrie Kein Zugriff
              1. D.5.3.1 Allgemeines Kein Zugriff
                1. D.5.3.2.1 Sekundärionenmassenspektrometrie (SIMS) Kein Zugriff
                2. D.5.3.2.2 Totalreflexions-Röntgenfluoreszenzspektroskopie (TXRF) Kein Zugriff
                3. D.5.3.2.3 Fourier-Transformations-Infrarotspektrometer (FTIR) Kein Zugriff
              3. D.5.3.3 Mikrogravimetrie Kein Zugriff
                1. D.5.3.4.1 Allgemeines Kein Zugriff
                2. D.5.3.4.2 Lösemittellösungs–Gaschromatographie/Massenspektrometrie (SD-GC/MS) Kein Zugriff
                3. D.5.3.4.3 Thermodesorptions-Gaschromatographie-Massenspektrometrie TD-GC/MS Kein Zugriff
                4. D.5.3.4.4 Lösemittellösungs–Hochleistungsflüssigkeitschromatographie (SD-HPLC) Kein Zugriff
        22. Literaturhinweise Kein Zugriff
      3. Nationaler Anhang NA (informativ) Literaturhinweise Kein Zugriff
      1. Nationales Vorwort Kein Zugriff
        1. Inhalt Kein Zugriff
        2. Europäisches Vorwort Kein Zugriff
        3. Vorwort Kein Zugriff
        4. Einleitung Kein Zugriff
        5. 1 Anwendungsbereich Kein Zugriff
        6. 2 Normative Verweisungen Kein Zugriff
        7. 3 Begriffe und Definitionen Kein Zugriff
        8. 4 Allgemeine Gliederung der Bewertung Kein Zugriff
        9. 5 Sichtprüfung Kein Zugriff
          1. 6.1 Allgemeines Kein Zugriff
            1. 6.2.1 Überblick Kein Zugriff
            2. 6.2.2 Anforderungen und Betrachtungen Kein Zugriff
            3. 6.2.3 Repräsentative Betriebsart Kein Zugriff
            4. 6.2.4 Bewertung der Prüfumgebung Kein Zugriff
            5. 6.2.5 Bestimmung der Prüfumgebung Kein Zugriff
            6. 6.2.6 Annähernde Identifizierung von Orten mit HPC Kein Zugriff
            7. 6.2.7 Genaue Bestimmung von Orten mit HPC Kein Zugriff
            8. 6.2.8 Tauglichkeitsmessung(en) Kein Zugriff
              1. 6.2.9.1 Allgemeines Kein Zugriff
              2. 6.2.9.2 Verfahren a) Kein Zugriff
              3. 6.2.9.3 Verfahren b) Kein Zugriff
            10. 6.2.10 Bezugnahme auf das Klassifizierungssystem nach ISO 14644-1 Kein Zugriff
          1. 7.1 Allgemeines Kein Zugriff
          2. 7.2 Übliche Dokumentationsanforderungen Kein Zugriff
          3. 7.3 Dokumentation für die Sichtprüfung Kein Zugriff
          4. 7.4 Dokumentation für die Bewertung der Prüfumgebung Kein Zugriff
          5. 7.5 Dokumentation für die Klassifizierungsmessung Kein Zugriff
        12. 8 Stellungnahme zur Reinraumtauglichkeit Kein Zugriff
          1. A.1 Allgemeines Kein Zugriff
          2. A.2 Messwerte bei einer einzigen HPC Kein Zugriff
          3. A.3 Ergebnis Kein Zugriff
          1. B.1 Allgemeines Kein Zugriff
          2. B.2 Bewertung in verschiedenen Phasen der Betriebslebensdauer des Geräts Kein Zugriff
          3. B.3 Messverfahren der Partikelsedimentation Kein Zugriff
            1. B.4.1 Allgemeines Kein Zugriff
            2. B.4.2 Einrichtung der Prüfumgebung Kein Zugriff
            3. B.4.3 Prüfaufbau zur Messung der Gesamtemission Kein Zugriff
            4. B.4.4 Messung der Gesamtemission des Geräts Kein Zugriff
            5. B.4.5 Berechnung der mittleren Gesamtemissionsrate des Geräts Kein Zugriff
            6. B.4.6 Bewertung der Auswirkung der Gesamtpartikellast Kein Zugriff
        15. Literaturhinweise Kein Zugriff
      3. Nationaler Anhang NA (informativ) Literaturhinweise Kein Zugriff
      1. Nationales Vorwort Kein Zugriff
        1. Inhalt Kein Zugriff
        2. Europäisches Vorwort Kein Zugriff
        3. Vorwort Kein Zugriff
        4. Einleitung Kein Zugriff
        5. 1 Anwendungsbereich Kein Zugriff
        6. 2 Normative Verweisungen Kein Zugriff
        7. 3 Begriffe Kein Zugriff
        8. 4 Symbole Kein Zugriff
          1. 5.1 Allgemeines Kein Zugriff
          2. 5.2 Geschlossene Ausführung Kein Zugriff
          3. 5.3 Geschlossene Ausführung besondere Anwendung Kein Zugriff
          4. 5.4 Offene Ausführung Kein Zugriff
          1. 6.1 Ausrüstungsgegenstand Kein Zugriff
          2. 6.2 Material Kein Zugriff
          1. 7.1 Allgemeines Kein Zugriff
          2. 7.2 Ausrüstungsgegenstände Kein Zugriff
          3. 7.3 Material Kein Zugriff
        12. 8 Beschreibung der Prüfung Kein Zugriff
        13. 9 Berechnung der gemessenen Konzentrationen Kein Zugriff
          1. 10.1 Berechnung der spezifischen Emissionsrate — geschlossene Ausführung Kein Zugriff
          2. 10.2 Berechnung der spezifischen Emissionsrate — Offene Ausführung Kein Zugriff
          1. 11.1 Allgemeines Kein Zugriff
          2. 11.2 Benötigte Eingabedaten Kein Zugriff
          3. 11.3 Berechnung zur Bestimmung der Wirkung auf einen Reinraum oder kontrollierten Bereich Kein Zugriff
          4. 11.4 Beurteilung der Eignung von Material(ien) oder Ausrüstungsgegenstand(gegenständen) für einen bestehenden Reinraum oder kontrollierten Bereich Kein Zugriff
          1. 12.1 Allgemeines Kein Zugriff
          2. 12.2 Allgemeine Dokumentationsanforderungen Kein Zugriff
          3. 12.3 Dokumentation der Prüfung Kein Zugriff
            1. 12.4.1 Ausrüstungssgegenstände Kein Zugriff
            2. 12.4.2 Materialien Kein Zugriff
        17. Anhang A (informativ) Beispielrechnung für die Bewertung der Eignung eines Ausrüstungssgegenstandes (vorhandene Einrichtung) Kein Zugriff
        18. Anhang B (informativ) Beispielrechnung für die Bewertung der Eignung des Wandmaterials (bestehende Einrichtung eines Reinraums/reinen Bereichs) Kein Zugriff
        19. Anhang C (informativ) Bewertung der Eignung einer Kombination aus Ausrüstungsgegenstand und Bodenmaterial in einem einzurichtenden Reinraum Kein Zugriff
        20. Literaturhinweise Kein Zugriff
      3. Nationaler Anhang NA (informativ) Literaturhinweise Kein Zugriff
      1. Nationales Vorwort Kein Zugriff
        1. Inhalt Kein Zugriff
        2. Europäisches Vorwort Kein Zugriff
        3. Vorwort Kein Zugriff
        4. Einleitung Kein Zugriff
        5. 1 Anwendungsbereich Kein Zugriff
        6. 2 Normative Verweisungen Kein Zugriff
          1. 3.1 Allgemeine Begriffe Kein Zugriff
          2. 3.2 Begriffe in Verbindung mit Anlagen Kein Zugriff
          3. 3.3 Energieeffizienzbezogene Begriffe Kein Zugriff
          4. 3.5 Abkürzungen Kein Zugriff
          1. 4.1 Allgemeines Kein Zugriff
          2. 4.2 Neue oder bestehende Reinräume Kein Zugriff
            1. 4.3.1 Allgemeines Kein Zugriff
            2. 4.3.2 Vergleich der Energieleistung Kein Zugriff
            3. 4.3.3 Bestimmen des Business Case Kein Zugriff
            4. 4.3.4 Überwachung und Überprüfung Kein Zugriff
          4. 4.4 Nachrüstung oder Renovierung eines bestehenden Reinraums Kein Zugriff
            1. 4.5.1 Auswahl des Projektteams Kein Zugriff
            2. 4.5.2 Prüfen der Benutzeranforderungen und des Projektanwendungsbereichs Kein Zugriff
            3. 4.5.3 Sammeln von Informationen zu Reinraumleistungskriterien Kein Zugriff
            1. 4.6.1 Prüfen der Benutzeranforderungen und des Projektanwendungsbereichs Kein Zugriff
            2. 4.6.2 Durchführen einer Energieleistungsdesignprüfung Kein Zugriff
          7. 4.7 Vergleichende Prüfung der umweltbezogenen Qualität Kein Zugriff
          8. 4.8 Ermitteln von Energiereduzierungsmöglichkeiten Kein Zugriff
          9. 4.9 Beurteilen der Auswirkung von Energiereduzierungsmöglichkeiten Kein Zugriff
          10. 4.10 Auswahl der Energiereduzierungsmöglichkeiten zur Implementierung Kein Zugriff
          11. 4.11 Implementierung Kein Zugriff
          12. 4.12 Überwachen, Prüfen und Rückmeldung Kein Zugriff
          13. 4.13 Außerbetriebnahme Kein Zugriff
          1. 5.1 Kurzbeschreibung Kein Zugriff
          2. 5.2 Kleidungsgrade Kein Zugriff
          1. 6.1 Frischluftversorgung Kein Zugriff
          2. 6.2 Luftvolumenstrom Kein Zugriff
            1. 6.3.1 Bestimmung des Luftvolumenstroms Kein Zugriff
            2. 6.3.2 Wirkungsgradindex der Entfernung von Verunreinigung und der Lüftung Kein Zugriff
            3. 6.3.3 Kompensationsfaktoren (Cf) Kein Zugriff
            1. 6.4.1 Allgemeines Kein Zugriff
            2. 6.4.2 Konstruktionsphase Kein Zugriff
            3. 6.4.3 Prüfphase Kein Zugriff
            4. 6.4.4 Betriebsphase Kein Zugriff
          5. 6.5 Reduzierung der Luftgeschwindigkeit für Räume mit turbulenzarmer Verdrängungsströmung Kein Zugriff
          1. 7.1 Herunterregeln Kein Zugriff
          2. 7.2 Abschalten Kein Zugriff
        12. 8 Adaptive Steuerung Kein Zugriff
        13. 9 Heiz und Kühllasten Kein Zugriff
          1. 10.1 Luftumwälzventilatoren Kein Zugriff
          2. 10.2 Auswahl von Luftfiltern Kein Zugriff
        15. 11 Beleuchtungsstärken Kein Zugriff
        16. 12 Einweisung Kein Zugriff
        17. 13 Betrieb Kein Zugriff
        18. 14 Wartung Kein Zugriff
        19. 15 Außerbetriebnahme Kein Zugriff
          1. A.1 Berechnung der Zuluftrate in Reinräumen mit turbulenter Verdünnungsströmung Kein Zugriff
            1. A.2.1 Lüftungseffektivitätsindizes Kein Zugriff
            2. A.2.2 Luftwechseleffektivität (ACE) Kein Zugriff
            3. A.2.3 Wirkungsgrad der Fremdkörperbeseitigung (CRE) Kein Zugriff
            1. A.3.1 Allgemeines Kein Zugriff
            2. A.3.2 Partikelemissionsrate von Personal in einem Reinraum Kein Zugriff
            3. A.3.3 Emissionsrate von durch Maschinen generierten Partikeln Kein Zugriff
          4. A.4 Beispiel für eine einfache Berechnung der Zuluftrate in einem Raum mit turbulenter Verdrängungsströmung Kein Zugriff
          5. A.5 Berechnung des Luftstroms in Reinräumen mit turbulenzarmer Verdrängungsströmung Kein Zugriff
        21. Anhang B (informativ)Energiesparmöglichkeiten Kein Zugriff
        22. Anhang C (Informativ)Wirkungsbeurteilung Kein Zugriff
          1. D.1 Messgröße — Allgemeines Kein Zugriff
          2. D.2 Anwendungsbereich der Messgrößen Kein Zugriff
          3. D.3 Messgrößen und Ausgangswerte für Leistungsindikatoren Kein Zugriff
          4. D.4 Leistungsintensität für die Beseitigung von Verunreinigungen (PICR) Kein Zugriff
          5. D.5 Ventilatorenergieintensität für die Beseitigung von Verunreinigungen (EICR) Kein Zugriff
          6. D.6 Energieintensität (EI) Kein Zugriff
          1. E.1 Heizbetrieb Kein Zugriff
          2. E.2 Kühlung Kein Zugriff
        25. Anhang F (informativ)Beispiel für die Reduzierung eines kritischen Bereichs Kein Zugriff
        26. Literaturhinweise Kein Zugriff
      3. Nationaler Anhang NA(informativ)Literaturhinweise Kein Zugriff
      1. Nationales Vorwort Kein Zugriff
        1. Inhalt Kein Zugriff
        2. Europäisches Vorwort Kein Zugriff
        3. Vorwort Kein Zugriff
        4. Einleitung Kein Zugriff
        5. 1 Anwendungsbereich Kein Zugriff
        6. 2 Normative Verweisungen Kein Zugriff
        7. 3 Begriffe Kein Zugriff
        8. 4 Symbole Kein Zugriff
          1. 5.1 Allgemeines Kein Zugriff
          2. 5.2 Ermittlung der erforderlichen Partikelablagerungsrate für die Kontrolle der Partikelablagerung auf empfindlichen Oberflächen Kein Zugriff
          3. 5.3 Partikelablagerungsrate zum Nachweis der Kontrolle der partikulären Kontamination Kein Zugriff
        10. 6 Messung der Partikelablagerungsrate Kein Zugriff
        11. 7 Grad der Partikelablagerungsrate Kein Zugriff
        12. 8 Dokumentation Kein Zugriff
          1. A.1 Allgemeines Kein Zugriff
          2. A.2 Partikelgröße Kein Zugriff
            1. A.3.1 Effizienz der Messung Kein Zugriff
            2. A.3.2 Messgeräte und Vergleichsplatten für die Messung der Partikelablagerung Kein Zugriff
            3. A.3.3 Erforderliche Messdauer für die Partikelablagerungsrate Kein Zugriff
          1. B.1 Beispiel für Messungen der Partikelablagerungsrate an einer kritischen Stelle Kein Zugriff
          2. B.2 Beispiele für die Überwachung der Partikelablagerungsrate an einer kritischen Stelle Kein Zugriff
          1. C.1 Allgemeines Kein Zugriff
          2. C.2 Messung der partikulären Trübung Kein Zugriff
        16. Anhang D (informativ)Beziehung zwischen der Partikelablagerungsrate und der Konzentration luftgetragener Partikel Kein Zugriff
          1. E.1 Allgemeines Kein Zugriff
          2. E.2 Beispiel für die Berechnung des Risikos durch Partikelablagerung auf einer empfindlichen Oberfläche Kein Zugriff
          3. E.3 Beispiel für die Berechnung der erforderlichen Partikelablagerungsrate für den Erhalt eines annehmbaren Grads der Partikelkontamination auf Oberflächen Kein Zugriff
            1. E.4.1 Verringerung des Risikos oberflächlicher Kontamination durch Verbesserung der Reinraum-Verfahren Kein Zugriff
            2. E.4.2 Beispiel für die Konstruktion und Aufrüstung der Lüftung, um einen korrekten Grad der Partikelablagerungsrate zu erhalten Kein Zugriff
            3. E.4.3 Überwachung der Partikelablagerungsrate Kein Zugriff
        18. Literaturhinweise Kein Zugriff
      3. Nationaler Anhang NA (informativ)Literaturhinweise Kein Zugriff
      1. Nationales Vorwort Kein Zugriff
      2. Nationaler Anhang NA (informativ) Literaturhinweise Kein Zugriff
      3. Inhalt Kein Zugriff
      4. Europäisches Vorwort Kein Zugriff
      5. Vorwort Kein Zugriff
      6. Einleitung Kein Zugriff
      7. 1 Anwendungsbereich Kein Zugriff
      8. 2 Normative Verweisungen Kein Zugriff
      9. 3 Begriffe Kein Zugriff
        1. 4.1 Arten von Verbrauchsgegenständen Kein Zugriff
          1. 4.2.1 Allgemeines Kein Zugriff
          2. 4.2.2 Funktionale Leistungseigenschaften Kein Zugriff
          3. 4.2.3 Reinheitsattribute Kein Zugriff
          4. 4.2.4 Besondere Eigenschaften Kein Zugriff
        3. 4.3 Bestimmungsgemäße Verwendung Kein Zugriff
          1. 4.4.1 Einmalige Verwendung Kein Zugriff
          2. 4.4.2 Mehrmalige Verwendung Kein Zugriff
        1. 5.1 Allgemeines Kein Zugriff
        2. 5.2 Emission von Kontaminanten in die Luft Kein Zugriff
        3. 5.3 Oberflächenkontamination durch Kontaktübertragung Kein Zugriff
        4. 5.4 Oberflächenkontamination durch Flüssigkeiten Kein Zugriff
        1. 6.1 Allgemeines Kein Zugriff
        2. 6.2 Überlegungen Kein Zugriff
        3. 6.3 Verbundene Risiken Kein Zugriff
        4. 6.4 Anforderungen, Eigenschaften und Reinheitsattribute Kein Zugriff
        5. 6.5 Nachhaltigkeit Kein Zugriff
        1. 7.1 Allgemeines Kein Zugriff
        2. 7.2 Beschreibung und bestimmungsgemäße Verwendung Kein Zugriff
          1. 7.3.1 Funktionale Leistungseigenschaften Kein Zugriff
          2. 7.3.2 Reinheitsattribute Kein Zugriff
          3. 7.3.3 Besondere Eigenschaften Kein Zugriff
        1. 8.1 Allgemeines Kein Zugriff
        2. 8.2 Beschreibung und vorgesehene Verwendung Kein Zugriff
          1. 8.3.1 Funktionale Leistungseigenschaften Kein Zugriff
          2. 8.3.2 Reinheitsattribute Kein Zugriff
          3. 8.3.3 Besondere Eigenschaften Kein Zugriff
        4. 8.4 Qualitätsdokumentation des Lieferanten Kein Zugriff
        1. 9.1 Allgemeines Kein Zugriff
        2. 9.2 Erster Vergleich Kein Zugriff
        3. 9.3 Ausführlicher Vergleich Kein Zugriff
        4. 9.4 Bewertung der Reinraumtauglichkeit Kein Zugriff
        5. 9.5 Implementierung Kein Zugriff
        1. 10.1 Allgemeines Kein Zugriff
        2. 10.2 Ausgangsdokumentation des Kunden Kein Zugriff
        3. 10.3 Dokumentation des Lieferanten Kein Zugriff
        4. 10.4 Dokumentation der Bewertung Kein Zugriff
        1. A.1 Allgemeines Kein Zugriff
          1. A.2.1 Bekleidung Kein Zugriff
          2. A.2.2 Handschuhe Kein Zugriff
          3. A.2.3 Gesichtsmaske Kein Zugriff
          4. A.2.4 Bedeckungen Kein Zugriff
          5. A.2.5 Schutzbrillen Kein Zugriff
          1. A.3.1 Wischtücher Kein Zugriff
          2. A.3.2 Tupfer Kein Zugriff
          3. A.3.3 Mopp Kein Zugriff
          4. A.3.4 Andere Kein Zugriff
        1. B.1 Allgemeines Kein Zugriff
          1. B.2.1 Luftreinheit anhand der chemischen Konzentration (ACC) Kein Zugriff
          2. B.2.2 Luftreinheit anhand der Partikelkonzentration (ACP) Kein Zugriff
        3. B.3 Persönliche Verbrauchsgegenstände Kein Zugriff
        4. B.4 Nicht persönliche Verbrauchsgegenstände Kein Zugriff
        5. B.5 Oberflächenreinheit Kein Zugriff
        1. C.1 Allgemeines Kein Zugriff
          1. C.2.1 Bekleidung Kein Zugriff
          2. C.2.2 Handschuhe Kein Zugriff
          3. C.2.3 Gesichtsmaske Kein Zugriff
          4. C.2.4 Kopfbedeckungen Kein Zugriff
          5. C.2.5 Schutzbrillen Kein Zugriff
          6. C.2.6 Schuhe Kein Zugriff
          7. C.2.7 Schuhbedeckungen Kein Zugriff
          1. C.3.1 Wischtücher Kein Zugriff
          2. C.3.2 Tupfer Kein Zugriff
          3. C.3.3 Mopp Kein Zugriff
          4. C.3.4 Verpackungsmaterialien Kein Zugriff
          5. C.3.5 Papier Kein Zugriff
          6. C.3.6 Andere Kein Zugriff
          1. D.1.1 Allgemeines Kein Zugriff
          2. D.1.2 Zusammenfassung der Anforderungen Kein Zugriff
          3. D.1.3 Bewertung der Reinraumtauglichkeit Kein Zugriff
          4. D.1.4 Dokumentation Kein Zugriff
          1. D.2.1 Allgemeines Kein Zugriff
          2. D.2.2 Zusammenfassung der Anforderungen Kein Zugriff
          3. D.2.3 Bewertung der Reinraumtauglichkeit Kein Zugriff
          4. D.2.4 Dokumentation Kein Zugriff
      21. Literaturhinweise Kein Zugriff

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    Handbuch Eurocode 1 Einwirkungen Band 1 bis Band 3

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