3D Reconstruction and Shape Characterization Based on Scanning Electron Microscope Images

Zusammenfassung

Das Rasterelektronenmikroskop (REM) erlaubt es, Proben über einen großen Vergrößerungsbereich mit einer hohen lateralen Auflösung und Tiefenschärfe abzubilden. Es besteht jedoch der Nachteil, dass die aufgenommenen Bilddaten lediglich zweidimensionale (2D) Informationen über die Probe bereitstellen. Bei Anwendungen wie z.B. der Analyse von Partikeln ist jedoch eine möglichst umfassende und eindeutige Charakterisierung der Partikelform und somit die Berücksichtigung von Tiefeninformationen vorteilhaft. Um die Limitierung des REMs auf 2D Bilddaten zu überwinden, wird in dieser Arbeit eine Routine vorgestellt, die anhand von mindestens drei verschiedenen REM Bildern und dem Abbildungsmaßstab eine metrische Rekonstruktion der Tiefe über einen weiten Vergrößerungsbereich ermöglicht. Die verschiedenen Ansichten der Probe werden dabei durch die Verkippung der Mikroskopbühne erzeugt.

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Bibliographische Angaben

Copyrightjahr: 2022
ISBN-Online: 978-3-95900-678-1
Verlag: TEWISS, Garbsen
Reihe: Berichte aus dem imr
Band: IMR 01/2022
Sprache: Deutsch
Seiten: 220
Produkttyp: Monographie

Inhaltsverzeichnis

KapitelSeiten

1. Vorwort Kein Zugriff
2. Kurzdarstellung Kein Zugriff
3. Abstract Kein Zugriff
4. Contents Kein Zugriff
1. 1.1 Motivation Kein Zugriff
2. 1.2 Scientific Contribution Kein Zugriff
3. 1.3 Structure of this Work Kein Zugriff
1. 2.1 Scanning Probe Microscopy Kein Zugriff
2. 2.2 Confocal Microscopy Kein Zugriff
3. 2.3 Scanning Electron Microscopy Kein Zugriff
4. 2.4 Comparative Discussion Kein Zugriff
1. 3.1 Camera Models Kein Zugriff
2. 3.2 Calibration in Scanning Electron Microscopy Kein Zugriff
3. 3.3 Geometry of the Electron Beam Kein Zugriff
4. 3.4 Distance Effect Kein Zugriff
5. 3.5 Discussion Kein Zugriff
1. 4.1 Image Acquisition Kein Zugriff
2. 4.2 Feature Detection and Matching Kein Zugriff
3. 4.3 Epipolar Geometry Kein Zugriff
4. 4.4 Rectification Kein Zugriff
1. 5.1 Motion Ambiguities under Parallel Projection Kein Zugriff
2. 5.2 Parameter Estimation Kein Zugriff
3. 5.3 Dense Stereo Matching Kein Zugriff
4. 5.4 Structure Computation Kein Zugriff
5. 5.5 Registration of Point Clouds Kein Zugriff
1. 6.1 Image Segmentation Kein Zugriff
2. 6.2 Shape Factors Kein Zugriff
3. 6.3 Roughness Kein Zugriff
1. 7.1 Data Acquisition Kein Zugriff
2. 7.2 Epipolar Geometry and Rectification Kein Zugriff
3. 7.3 Sphere Kein Zugriff
4. 7.4 Diesel Soot Agglomerate Kein Zugriff
5. 7.5 Registration Kein Zugriff
6. 7.6 Shape Characterization Kein Zugriff
8. Conclusion and Outlook Kein Zugriff Seiten 177 - 180
Bibliography Kein Zugriff Seiten 181 - 203
Publications Kein Zugriff Seiten 204 - 204
1. A.1 Algorithms and Derivations Kein Zugriff
2. A.2 Supplementary Figures Kein Zugriff
3. A.3 Supplementary Tables Kein Zugriff