Neuartige nanostrukturierte Diamantschichten mit optimierten mechanischen, elektrischen und thermischen Eigenschaften

Markus Mohr

doi:10.51202/9783186761057

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Bibliographic data

Copyright year: 2017
ISBN-Print: 978-3-18-376105-0
ISBN-Online: 978-3-18-676105-7
Publisher: VDI Verlag, Düsseldorf
Series: Grund- und Werkstoffe/Kunststoffe
Volume: 761
Language: German
Pages: 238
Product type: Book Titles

Titelei/Inhaltsverzeichnis Partial access Pages I - VIII Download chapter (PDF)
Einleitung No access Pages 1 - 4
1. 1. Historische Bemerkungen No access
  2. Diamantwachstum mittels Hot Filament CVD No access
  3. Substratauswahl No access
2. 1. Kristallstruktur von Diamant No access
  2. Atomare Struktur von nanokristallinem Diamant No access
  3. Anteil der Korngrenzen am Gesamtmaterial No access
  4. Modell der Korngrenzenelastizität No access
  5. Bandstruktur von Diamant No access
3. 1. Mechanische Eigenschaften No access
  2. Elektrische Eigenschaften No access
  3. Thermische Eigenschaften No access
4. 1. Statische Biegung von Mikrobiegebalken No access
  2. Resonante Vibration von Mikrobiegebalken No access
  3. Balken mit verschiedenen Aspektverhältnissen No access
1. 1. Substratvorbehandlung No access
  2. Aufbau der Hot Filament CVD No access
2. 1. Phasenbestimmung No access
  2. Korngrößenbestimmung No access
  3. Texturmessungen No access
3. Dichtemessungen No access
4. 1. Mikrobalkenstrukturen zur Bestimmung von Elastizitätsmodul, mechanischer Verspannung und Verspannungsgradient No access
  2. Mikrobalkenstrukturen zur Bestimmung von Elastizitätsmodul, Schermodul, Poissonzahl und Bruchspannung No access
5. 1. Nanoindentation No access
  2. Balkenbiegung zur Bestimmung des Elastizitätsmoduls No access
  3. Biegung von mikrostrukturierten Balken mittels AFM No access
  4. Biegung von mikrostrukturierten Balken mittels Nanoindenter No access
  5. Dynamische Messung von Elastizitäts-, Schermodul und Poissonzahl No access
  6. Bestimmung des mechanischen Verspannungszustandes No access
6. Messung der elektrischen Leitfähigkeit No access
7. 1. 3ω-Methode für Volumenmaterial No access
  2. 3ω-Methode für dünne Filme (Temperaturoffset-Methode) No access
  3. Messaufbau No access
1. Synthese von (ultra-)nanokristallinen Diamantschichten No access
2. 1. Morphologie No access
  2. Korngrößenbestimmung No access
  3. Texturmessungen No access
  4. Wachstumsgeschwindigkeit No access
  5. Renukleationsraten No access
3. 1. Härte No access
  2. Elastizitätsmodul No access
  3. Messung der Poissonzahl No access
  4. Messung der Bruchspannung No access
  5. Bestimmung des mechanischen Verspannungszustands im Film No access
  6. Hochtemperaturplastizität von nanokristallinem Diamant No access
4. Elektrische Leitfähigkeit No access
5. 1. Der Wärmeübergang zwischen Diamantschicht und Silizium Substrat No access
  2. Bestimmung der thermischen Leitfähigkeit No access
  3. Modellierung der Wärmeübergangsleitfähigkeit der Korngrenzen No access
  4. Modellierung der Korngrenzenelastizität No access
1. Herstellung von (ultra-)nanokristallinen Diamantschichten No access
2. Strukturuntersuchungen No access
3. Balkenstrukturen zur Materialcharakterisierung No access
4. 1. Härte No access
  2. Elastizitäts-, Schermodul und Poissonzahl No access
  3. Bruchspannung No access
  4. Bestimmung der mechanischen Verspannungen No access
  5. Plastische Verformbarkeit No access
5. Elektrische Eigenschaften No access
6. Vergleich der mechanischen und elektrischen Eigenschaften No access
7. Thermische Leitfähigkeit von nanokristallinen Diamantfilmen No access
Zusammenfassung und Ausblick No access Pages 162 - 163
Summary and Outlook No access Pages 164 - 165
1. Tabellen No access
2. REM Aufnahmen No access
3. Texturmessungen No access
4. Röntgenuntersuchungen (EMPA CH) No access
5. Simulationen FEM (FhG) No access
6. Filamentalterung No access
7. Laserstrukturierung von Diamant No access
8. Graphiken No access
9. Fotos No access
10. 1. Wärmetransport in der Hot Filament CVD No access
  2. Simulation des Temperaturprofils auf dem Substrat in der Hot Filament CVD No access
11. Abschätzung der Wärmeleitfähigkeit eines Gasgemisches No access
12. Herleitung von EGB aus 2-Phasen-Modell No access
13. Abschätzung der Péclet-Zahl No access
14. Publikationsliste des Autors No access
15. Konferenzbeiträge des Autors No access
Literaturverzeichnis No access Pages 208 - 238