Methoden zur Analyse parasitärer elektrostatischer Effekte in mikroelektromechanischen Systemen:

Axel Hald

doi:10.51202/9783186473202

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Bibliographic data

Edition: 1/2020
Copyright year: 2020
ISBN-Print: 978-3-18-347320-5
ISBN-Online: 978-3-18-647320-2
Publisher: VDI Verlag, Düsseldorf
Series: Rechnerunterstützte Verfahren
Volume: 473
Language: German
Pages: 154
Product type: Book Titles

Titelei/Inhaltsverzeichnis Partial access Pages I - VIII Download chapter (PDF)
1. Mikroelektromechanische Systeme (MEMS) No access
2. Entwurfsprozess für MEMS No access
3. Ziele der Arbeit No access
1. Basis-Prozesstechnologie für Oberflächenmikromechanik No access
2. 1. Beschleunigungssensor: Aufbau und Funktionsprinzip No access
  2. Drehratensensor: Aufbau und Funktionsprinzip No access
  3. Statische und dynamische Kapazitäten No access
3. Zusammenfassung No access
1. Entwurf der mikromechanischen Strukturen No access
2. Entwurf der Chip-Geometrie No access
3. Aktueller Stand der Elektrostatik-Analyse No access
4. 1. Bibliotheksbasierter Entwurfsprozess ausgehend von einer Geometrie- Beschreibung No access
  2. Bibliotheksbasierter Entwurfsprozess ausgehend von einer Schaltplan- Beschreibung No access
  3. Polygonbasierter Entwurfsprozess No access
  4. Vergleichende Betrachtung der Entwurfsprozesse No access
  5. Bewertung der Entwurfsprozesse hinsichtlich ihrer Einsetzbarkeit No access
5. Zusammenfassung No access
Präzisierung der Aufgabenstellung No access Pages 48 - 50
1. MEMS-spezifische Elektostatik-Analyse basierend auf 3D-Field-Solvern No access
2. 1. Modellierung: Reaktives Ionentiefenätzen No access
  2. Modellierung: Gas-Phasen-Ätzen No access
  3. Modellierung: Topographie im Schichtaufbau No access
3. Demonstration No access
4. Verifikation der Extraktions-Ergebnisse No access
5. Zusammenfassung No access
1. Grundlegende Idee und Einordnung in den Extraktions-Fluss No access
2. 1. Eingabe No access
  2. Architektur-Analyse No access
  3. Definition der Topologie-Elemente mit ihren zugehörigen Regeln No access
  4. Ableitung der Topologie-Elemente und Regeln bezüglich einer spezifischen Architektur No access
  5. Segmentierung der Chip-Geometrie in Topologie-Elemente durch Anwenden der abgeleiteten Regeln No access
  6. Ausgabe No access
3. Elektrostatische RC-Analyse und Ersatzschaltplan-Synthese No access
4. Demonstration No access
5. Verifikation der Extraktions-Ergebnisse No access
6. Zusammenfassung No access
7. Anhang zu Kapitel 6 No access
1. Grundlegende Idee und Einordnung in den Extraktions-Fluss No access
2. Auslenkungs-Algorithmus No access
3. Demonstration No access
4. Verifikation No access
5. Zusammenfassung No access
1. Demonstration No access
2. Zusammenfassende Bewertung No access
Gesamtzusammenfassung und weiterführende Aufgaben No access Pages 138 - 140
Glossar No access Pages 141 - 144
Literaturverzeichnis No access Pages 145 - 154