Hochsensitive Dünnfilm-Dehnungsmessstreifen auf Metallfolienbasis für den Einsatz unter rauen Umgebungsbedingungen

Rico Ottermann

doi:10.5771/9783690301947

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Edition: 1/2026
Copyright Year: 2026
ISBN-Print: 978-3-690-30186-2
ISBN-Online: 978-3-69030-194-7
Publisher: TEWISS, Garbsen
Series: Berichte aus dem IMPT
Volume: 02/2026
Language: German
Pages: 180
Product Type: Monograph

1. Danksagung No access
2. Inhaltsverzeichnis No access
3. Abbildungsverzeichnis No access
4. Tabellenverzeichnis No access
5. Symbolverzeichnis No access
1 Einleitung No access Pages 1 - 2
1. 2.1 Dehnungsmessstreifen No access
2. 2.2 Hochsensitive Metall- und Halbleiter-DMS No access
3. 2.3 Fügeverfahren No access
1. 3.1 Anlagentechnik zur Dünnfilmprozessierung No access
2. 3.2 Mess- und Prüftechnik zur Charakterisierung No access
4 Ziel der Arbeit und Vorgehensweise No access Pages 31 - 32
1. 5.1 Simulation der Dehnungsübertragung No access
2. 5.2 Thermokompressives Fügen mittels Lotdepot No access
3. 5.3 Experimentelle Dehnungsübertragung No access
1. 6.1 Herstellung von Isolationsschichten No access
2. 6.2 Charakterisierung der Isolationsschichten No access
1. 7.1 Einfluss des Sensorlayouts auf die Dehnungssensitivität No access
2. 7.2 Einfluss des Annealings auf die Temperatursensitivität No access
1. 8.1 Dünnfilmherstellung von Si-Halbleiter-Schichten No access
2. 8.2 Laserannealing No access
3. 8.3 Übertragung der Si-DMS auf das Metallfoliensensorkonzept No access
1. 9.1 Parametervariationen zur Herstellung von CrOx- und CrNx-DMS No access
2. 9.2 Mikrostrukturanalyse von CrOx-Schichten No access
3. 9.3 DMS-Layout-Optimierung zur Sensitivitätssteigerung No access
4. 9.4 Übertragung der CrOx-DMS auf das Metallfoliensensorkonzept No access
10 Zusammenfassung und Ausblick No access Pages 123 - 127
11 Literaturverzeichnis No access Pages 128 - 144
1. 12.1 Charakterisierung des UV-ns-Lasers No access
2. 12.2 Prozessplan zur Herstellung metallfolienbasierter Si-DMS No access
3. 12.3 Prozessplan zur Herstellung metallfolienbasierter CrOx-DMS No access
13 Wissenschaftlicher Werdegang No access Pages 152 - 153

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