Erforschung eines mikrosystemtechnischen Fertigungsprozesses zur Herstellung von flexiblen Mikroschleifwerkzeugen

Zusammenfassung

Die Funktionen von Bauteilen werden maßgebend durch deren Oberfläche gesteuert. Damit auch lokal höchste Oberflächengüten hergestellt werden können, benötigt es passende Mikrowerkzeuge. Zur Endbearbeitung metallischer Oberflächen wurden daher Mikroschleifwerkzeuge mit nachgiebiger Bindung zur Erreichung höchster Oberflächengüten entwickelt. Der Einfluss der Herstellungsparameter und das Einsatzverhalten der Werkzeuge auf Kupfer und Edelstahl wurden untersucht. Auf Stahl konnten Rauheiten von Ra = 0,03 ± 0,03 µm und Rz = 1,67 ± 0,52 µm, auf Kupfer von Ra = 0,04 ± 0,02 µm und Rz = 2,32 ± 0,59 µm erreicht werden. Eine weitere Reduktion der Rauheiten auf Kupfer konnte durch die kombinierte Verwendung eines grob- und eines feinkörnigen Werkzeugs erzielt werden. Somit wurde eine Oberflächengüte im Bereich der Ultrapräzisionsbearbeitung erzielt. Weitere Untersuchungen auf Freiformflächen und Konzepte für eine Weiterentwicklung der Werkzeuge konnten gezeigt werden.

Schlagworte

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Bibliographische Angaben

Auflage

1/2026

Copyrightjahr

2026

ISBN-Print

978-3-690-30183-1

ISBN-Online

978-3-69030-190-9

Verlag

TEWISS, Garbsen

Reihe

Berichte aus dem IMPT

Band

01/2026

Sprache

Deutsch

Seiten

134

Produkttyp

Monographie