Ein Anspruch auf erhöhte Vergütung bei Einhaltung der Formaldehydgrenzwerte („Formaldehydbonus“) kann auch nach Inbetriebnahme einer Biogasanlage entstehen, wenn der Betreiber an ihr Veränderungen vornimmt, die erstmals zu einer immissionsschutzrechtlichen Genehmigungsbedürftigkeit führen.