@book{2021:kowarsch:heterodyne,
title = {Heterodyne Laser-Interferometrie mittels phasengekoppelter Halbleiterlaser und Absorbanzmodulations-Nanoskopie für die Gigahertz-Schwingungsmesstechnik},
year = {2021},
note = {Die vorliegende Dissertation wendet sich an Ingenieure und
Wissenschaftler im Bereich der optischen Schwingungsmesstechnik und
hochauflösenden Mikroskopie (Nanoskopie). Sie befasst sich mit der
Modellierung und Simulation von zwei zentralen Herausforderungen der
Gerätetechnik der heterodynen Laser-Interferometrie für die
Schwingungsmessung an Mikrosystemen bis zu 6 GHz. Zum einen wird die
Auswirkung der Gigahertz-Trägererzeugung mittels phasengekoppelter
Laser in einer optoelektronischen Phasenregelschleife auf die
Auflösung für Schwingungsamplituden im Subpicometer-Bereich
theoretisch untersucht und im Experiment demonstriert. Zum anderen
wird mittels reversibel optisch schaltbarer Absorbanz in einer
photochromen Dünnschicht ein Verfahren zur örtlichen Hochauflösung
jenseits derBeugungsgrenze für die Reflexionsmikroskopie untersucht.
Anhand der Erkenntnisse werden Näherungsformeln sowie Hinweise für
die Anwendung gegeben.Symbolverzeichnis IXKurzfassung XIX1 Einleitung
...},
edition = {1},
publisher = {VDI Verlag},
address = {Düsseldorf},
series = {Mess-, Steuerungs- und Regelungstechnik},
volume = {1270},
author = {Kowarsch, Robert}
}